电子厂房高纯气体工艺与施工工程.pdf

电子厂房高纯气体工艺与施工工程 前言 ◆近10年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路 的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的 要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于 高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯 度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一 致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净 度），还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84 《洁净厂房设计规