半导体制造工艺第2版.pptxVIP

学习情景三：薄膜制备子情景4：物理气相淀积;半导体制造工艺 第2版;物理气相淀积;蒸发：通过加热被蒸镀物体，利用被蒸镀物体在高温时（接近其熔点）的饱和蒸汽压，进行薄膜淀积，又称热丝蒸发； 溅射：利用等离子体中的离子，对被溅镀物体（粒子靶）进行轰击，使气相等离子体内具有被溅镀物体的粒子，这些粒子淀积到硅晶片上形成溅射薄膜； ;溅射系统示意图; 热丝蒸发;源材料 蒸发的目的是为了形成良好的欧姆接触、管芯内部互联以及引出电极引线。为了达到这个目的，所选用的源材料必须满足以下几个条件： 有良好的导电性能； 容易与硅形成良好的欧姆接触； 便于键合和引出金属线； 适合用蒸发工艺；;9、要学生做的事，教职员躬亲共做；要学生学的知识，教职员躬亲共学；要学生守的规则，教职员躬亲共守。6月-216月-21Friday, June 11, 2021 10、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话。09:43:1009:43:1009:436/11/2021 9:43:10 AM 11、一个好的教师，是一个懂得心理学和教育学的人。6月-2109:43:1009:43Jun-2111-Jun-21 12、要记住，你不仅是教课的教师，也是学生的教育者，生活的导师和道德的引路人。09:43:1009:43:1009:43Friday, June 11, 2021 13、He who seize the