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真空系统设计 东北大学第二期《真空技术》培训班讲义之五 2005.7.10～2005.7.13 主讲人：东北大学 王继常 副教授 之一：真空技术的历史、现在与将来 之二：真空工程理论基础 之三：科技论文的检索、撰写与发表 之四：清洁真空获得技术 之五：真空系统设计 之六：真空系统设计辅助软件的使用 之七：真空测量 之八：真空装置与系统的检漏 之九：大型真空装置的监测与故障诊断 之十：专家座谈 之十一：真空获得技术 之十二：现代表面与薄膜技术 之十三：真空材料与真空卫生 之十四：真空技术应用及计算实例 磁控溅射镀膜机 金属蒸汽真空弧源注入机 1.真空系统的组成 1.1 真空系统的概念 1.2 真空系统的组成元件 1.3 真空系统示意图 1.4 高真空系统 1.5 真空系统设计的基本内容 2.真空技术基本方程 2.1 真空系统的最主要性能参数： 极限真空度、有效抽速 2.2 流导的定义 2.3 真空技术基本方程 2.4 真空技术基本方程在真空系统设计中的意义 3.真空系统的设计计算 3.1 主泵 3.2 配泵 3.3 储气罐和维持泵 3.4 真空系统设计中应该注意的问题 3.5 真空系统的典型形式 3.6 真空系统的结构设计 3.7 真空系统操作规则 课程内容 1.真空系统的组成 1.1 真空系统的概念 1.2 真空系统的组成元件 1.3 真空系统示意图 1.4 高真空系统 1.5 真空系统设计的基本内容 1.1 真空系统的概念 什么是真空系统？ 用一句话来概括，真空系统就是用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。 例如：镀膜设备真空系统； 真空热处理炉真空系统； 航空模拟器真空系统； 真空冶炼炉真空系统； 真空压力浸漆真空系统等等。 9、要学生做的事，教职员躬亲共做；要学生学的知识，教职员躬亲共学；要学生守的规则，教职员躬亲共守。21.6.3021.6.30Wednesday, June 30, 2021 10、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话。08:10:2908:10:2908:106/30/2021 8:30:29 AM 11、一个好的教师，是一个懂得心理学和教育学的人。21.6.3008:10:2908:10Jun-2130-June-21 12、要记住，你不仅是教课的教师，也是学生的教育者，生活的导师和道德的引路人。08:10:2908:10:2908:10Wednesday, June 30, 2021 13、He who seize the right moment, is the right man.谁把握机遇，谁就心想事成。21.6.3021.6.3008:10:2908:10:29June 30, 2021 14、谁要是自己还没有发展培养和教育好，他就不能发展培养和教育别人。2021年6月30日星期三上午8时10分29秒08:10:2921.6.30 15、一年之计，莫如树谷；十年之计，莫如树木；终身之计，莫如树人。2021年6月上午8时10分21.6.3008:10June 30, 2021 16、提出一个问题往往比解决一个更重要。因为解决问题也许仅是一个数学上或实验上的技能而已，而提出新的问题，却需要有创造性的想像力，而且标志着科学的真正进步。2021年6月30日星期三8时10分29秒08:10:2930 June 2021 17、儿童是中心，教育的措施便围绕他们而组织起来。上午8时10分29秒上午8时10分08:10:2921.6.30 1、Genius only means hard-working all ones life. (Mendeleyer, Russian Chemist)  天才只意味着终身不懈的努力。21.5.265.26.202108:3008:30:57May-2108:30 2、Our destiny offers not only the cup of despair, but the chalice of opportunity. (Richard Nixon, American President )命运给予我们的不是失望之酒，而是机会之杯。二〇二一年五月二十六日2021年5月26日星期三 3、Patience is bitter, but its fruit is sweet. (Jean Jacques Rousseau , French thinker)忍耐是痛苦的，但它的果实是甜蜜的。08:305.26.202108:305.26.202108:3008:30:575.26.202108:305.26.2021 4、All that you do,