集成电路工艺技术教材.pptxVIP

集成电路工艺技术讲座第五讲;引言;离子注入的优点;目录;射程;LSS理论;LSS理论－核阻止本领和弹性碰撞;核阻止本领;LSS理论－电子阻止本领;两种能量损失示意图;常见硅中杂质的能量损失;磷砷锑投影射程;硼投影射程;SiO2中投影射程;光刻胶中投影射程;入射粒子在非晶靶中浓度分布;高斯分布;高斯分布特点和应用;高斯分布特点和应用;双高斯分布;Pearson- IV分布;硼离子注入分布;横向分布;横向分布;目录;沟道效应－ 单晶靶中的射程分布;沟道效应－ 单晶靶中的射程分布;能量对沟道效应影响;剂量对沟道效应影响;取向对沟道效应影响;温度对沟道效应影响;目录;离子注入损伤－过程;离子注入损伤;离子注入损伤－临界剂量;离子注入损伤－临界剂量;损伤的去除－退火;退火效应－硼;退火效应－硼，磷，砷比较;退火温度－和剂量的关系;快速热退火(RTA);退火技术比较;目录;离子注入机;离子注入机结构;离子注入机结构;离子源;离子源;离子源;离子源;注入材料形态选择;质量分析系统;质量分析系统;加速聚焦系统;扫描系统;扫描系统;电扫描偏转;电扫描;目录;离子注入的应用;离子注入的应用(SOI);SOI MOSFET;目录;离子注入工艺模拟(SUPREM);离子注入工艺模拟(SUPREM);离子注入二维工艺模拟(ATHENA);离子注入二维工艺模拟(ATHENA);9、春去春又回，新桃换旧符。在那桃花盛开的地方，在这醉人芬芳的季节，愿你生活像春天一样阳光，心情像桃花一样美丽，日子像桃子一样甜蜜。11月-2011月-20Wednesday, November 18, 2020 10、人的志向通常和他们的能力成正比例。22:11:0822:11:0822:1111/18/2020 10:11:08 PM 11、夫学须志也，才须学也，非学无以广才，非志无以成学。11月-2022:11:0822:11Nov-2018-Nov-20 12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。22:11:0822:11:0822:11Wednesday, November 18, 2020 13、志不立，天下无可成之事。11月-2011月-2022:11:0822:11:08November 18, 2020 14、Thank you very much for taking me with you on that splendid outing to London. It was the first time that I had seen the Tower or any of the other famous sights. If Id gone alone, I couldnt have seen nearly as much, because I wouldnt have known my way about. 。18 十一月 202010:11:08 下午22:11:0811月-20 15、会当凌绝顶，一览??山小。十一月 2010:11 下午11月-2022:11November 18, 2020 16、如果一个人不知道他要驶向哪头，那么任何风都不是顺风。2020/11/18 22:11:0822:11:0818 November 2020 17、一个人如果不到最高峰，他就没有片刻的安宁，他也就不会感到生命的恬静和光荣。10:11:08 下午10:11 下午22:11:0811月-20