SECS标准详细介绍.docxVIP

SECS SECS标准，用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯，是半导体生产流程中最基本的标准。 外文名 Semiconductor Equipment and Materials Institute 简 称 SECS 制定了 半导体设备通讯标准接口 功 能 快速地整合在 CIM的管理系统 目录 1. 1 引 言 2. 2 SECS标准简介 3. 3 系统的硬件组成 1. 4 基于 SECS标准串口通讯的实现 2. ? 软件的实现 1. ? 串口的编程 5 结 论 引 言 在高度自动化的半导体制造厂中， CIM(ComputerIntegratedManufacturing