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特种气体系统工程技术规范 2011-04-07 08:31:54| 分类： 默认分类 | 标签：气体 特种 管道 气瓶 阀门 | 字号 订阅 1 总 则 1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保 护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。制定本 规范。 1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。 1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。 1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。 2 术 语 2.0.1 特种气体 specialily gas 用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用 的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。 2.0.2 特种气体系统 speciality gas system 特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。 2.0.3 特种气体间 speciality gas room 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向 用气设备输送特种气体的房间。 2.0.4 硅烷站 silane station 是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、 Y 钢瓶、长管拖车或 ISO 标准储罐）、硅烷气化装置及 尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。 2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。 2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。 2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。 2.0.8 实瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为 40L 、47 、48L 等各种容积。 2.0.9 气瓶集装格 the bundle of gas cylinders 用专用金属框架固定， 采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。 气瓶的个数分别为 9 个、 12 个、 16 个不等，单个气瓶的水容积通常为 40~50L 。 2.0.10 气瓶柜 gas cabinet (GC) 特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流 开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手 动、半自动、全自动三类。 2.0.11 气瓶架 gas rack (GR) 特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急 切断阀、压力监测及报警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。 2.0.12 阀门箱 valve manifold box (VMB) 特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配部件， VMB 在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管可 AAAAAA 配置手动阀、压力表、过滤器等组件，除 SiH2Cl2 、WF6 等低蒸汽压力气体外， VMB 各支管可根据需 要设置调压阀。 VMB 需设置泄漏气体排气管接口和风压事故报警。 2.0.13 阀门盘 valve manifold panel (VMP) 特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配部件， VMP 在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管应 配置手动阀、压力表、过滤器等组件， VMP 各支管可根据需要设置调压阀。 2.0.14 低蒸汽压力气体 low vapor pressure gas 在室温下的饱和蒸气压小于 0.2MP