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激光测量技术;第二章 激光干涉测量技术 §2.1 激光干涉测量长度和位移;则合成有： E = E1 + E2 = A cos(ωt + ?1 ) + B cos(ωt + ?2 ) = A cos(ωt + ?1 ) + B cos(ωt + ?1 ? Δ? ) = A cos(ωt + ?1 ) + B cos(ωt + ?1 ) cos Δ? + B sin(ωt + ?1 ) sin Δ? = ( A + B cos Δ? ) cos(ωt + ?1 ) + B sin Δ? sin(ωt + ?1 ) = A cos(ωt + ?1 + Δ?2 );2π;结论 合成干涉光的光强是两路光的光程差的余弦函数 I ∝ A2 + B 2 + 2 AB cos Δ;应用;n均固定/已知, 一路光的光程固定, 由下公式可知,即测 量位移和长度 N N Δ = ∑ ni li ? ∑ n j l j i =1 j =1 通过测量光强的变化的次数,测量某臂的光程变化: 所以激光干涉测量一般是:;以Michelson干涉仪为例:;二、测量系统组成;1. 干涉仪常用分束方法;（3）分偏振法（PBS）; 布置原则: 1) 共路原则 消除振动、温度、气流等影响