相干扫描干涉显微镜概述和组件、工作原理、空间分辨力、表面形貌测量重复性评估示例程序、与GPS矩阵模型的关系.pdfVIP

GB/T 33523.604—xxxx/ISO 25178-604:2013 附 录 A （资料性） 相干扫描干涉（CSI）显微镜的概述和组件 A. 1 概述 CSI仪器的测量过程如下： 1. 将仪器聚焦到被测表面直至出现干涉条纹； 2. 当测量随机粗糙表面时，调整被测样品相对于系统光轴的倾角，直至视场内的干涉 条纹数最少；当测量光滑表面上的台阶特征时，调整样品倾角使得视场内出现一个 或多个条纹，且条纹尽可能垂直于台阶； 3. 仪器在CSI扫描期间采集数据； 4. 使用调制包络、干涉条纹或结合两者进行数据分析获得被测表面形貌图。 在区域法获得表面形貌图的过程中，偏离平面的偏差（如残余的倾斜、曲率和柱面度等） 可通过数值方法去除。此外，还可根据需求对表面形貌图做进一步的滤波处理。 说明： 1—光源 5—相机 9—参考镜 2—孔径光阑 6—镜筒或变焦镜头