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第四章 莫尔条纹技术 § 4 -2 光栅读数头 一、莫尔条纹信号的特点 （一）条纹把位移放大 上面已经介绍，以微小角度θ叠合的两块光栅得到的是横向条纹，这种莫尔条纹是位移测量的基准。由于 W =P / θ ，因此条纹放大 1 / θ 倍，就是说光栅副起到一个高质量的可调前置放大器的作用。它能将微小位移变化合理放大，获得信噪比很大的稳定输出。由于条纹宽度比光栅节距放大几百倍，所以有可能在一个条纹间隔内安放细分读数装置，以读取位移的分度值，即进行细分。 * PPT课件 （二）误差的平均效应 光电接收元件接收的信号，是进入视场的光栅线数 N 的叠加平均的结果。而一般进入视场的光栅线条有几十线对甚至上千线对，这样光电元件接收的信号是这些线条的平均结果。因此当光栅有局部误差时，由于平均效应，使光栅缺陷或局部误差对测量精度的影响大大减小，大致的关系是： δ为平均误差。 * PPT课件 （三）光栅信号与位移的对应关系 光栅副中任一光栅沿横向（垂直于线纹方向）移动时，莫尔条纹就沿垂直方向移动，而且移过的条纹数与栅距是一一对应的。即光栅移动一个栅距，莫尔条纹移动一个条纹宽度 w ，所以测出了莫尔条纹移动的数目，也就知道了光栅移动的距离。这种严格的线性关系就是用莫尔条纹进行长度与角度测量的原理。 * PPT课件 （四）信号波形的正弦性 莫尔条纹光场的亮度分布符合正弦规律，经由光电元件转换之后，如果接收狭缝比条纹宽度窄得多，则输出信号的瞬时波形也和莫尔条纹的亮度分布一样，非常接近于正弦波。由于亮度没有负值（极限为零），因此光电元件所取得的信号总 是叠加在一个平均信号 之上（平均信号反映了 平均亮度，即背景）。 所以，经光电元件转换 后，形成了带有平均电 压的交变信号，如图 4 – 6 所示。 * PPT课件 （五）共模漂移 光栅的平均背景引起共模电压，但是，光栅全长上透光量并非处处一样，工作期间光源的亮度也难保持不变，这样，在光栅不同位置上，将有不同的平均背景，于是产生共模漂移。共模及共模漂移都影响光栅系统的工作性能。在信号曲线上，只有与Vcp相交的那些点（见图 4 - 6 中的 b 和 d 称过零点）灵敏度最高，稳定性最好，因此作为对准定位和触发脉冲等用途的工作点，幅度调制系统的细分也是以这些过零点作依据。如果共模电压相对地大，那么系统（指工作点）是不稳定的，如有共模漂移，即实际工作点就会偏离过零点，由此引起脉冲间隔的变化。容许的漂移值应由插补系数或定位精度确定。 * PPT课件 （六）反差 光电信号的反差（即衬度），常用调制系数 K 0，调制度 M d或对比度 C来评价（见图 4 - 6 ) * PPT课件 二、光栅读数头组成 实际应用中，常根据读数头的结构特点和使用场合分为：分光读数头、直接接收式（或硅光电池式）读数头、镜像读数头以及反射光栅读数头等。就光学系统而言，不外乎夫琅和费系统和费涅尔衍射系统两类。 读数头由光源、准直透镜、指示光栅、光电元件和必要的光阑、接收狭缝及调整机构等部分组成。光源的灯丝应安置于准直透镜的焦点上。准直透镜也有一定的像差要求，灯丝必须细而直，照度要稳定，否则会因背景变化而引起直流漂移．造成计量误差。光电元件主要有硅光电池、光电二极管和光电三极管。光电管的空间位置应能调整，以便能对准所需要的光谱级和谱带，并准确地配置在透镜的后焦面上。还应放置必要的接收光阑，以便获得一定强度的信号和提高信号的信噪比 * PPT课件 三、分光读数头 （一）单相型（图 4-7 ) 从光源 S 出发并经透镜 L ，准直的光束，以 α角入射到光栅副 G 1和 G2 ，从光栅副衍射的各级群光束的方向均由光栅方程确定： * PPT课件 （二）多相型 　　　为了适应判别方向和补偿直流漂移的需要，通常要求二相或四相信号，它们之间在相位分别有π或π/2的相移。 　　　产生多相信号的方法，一种是采用分开的组合透镜，并成像于不同的光导管上，一种可采多相指示光栅，并相应地由多相的光导管接收。也可以用远心光路方法，在光栅像面上用多硅光电池接收莫尔条纹像的信号。 * PPT课件 图 4-9 表示直读分光型读数头。 * PPT课件 四、直接接收式读数头 （一）单相型 如图 4－10 所示，平行光束垂直入射到主光栅上，硅光电池接近指示光栅直接接收光花样。由于是单相型读数头，故必须接收同相位的信号，因此应该采用光闸式莫尔条纹，即两块 光栅节距是相等的，而线纹方 向是平行的，并采用小间隙布 置。因此视场中的亮度应是一 样的而且是均匀的，以保证整 个视场中位相的一致性。 * PPT课件 （二）四相型 四相型