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真空泵岗位职责（多篇） 篇：真空泵介绍和参数 真空泵介绍 真空泵的主要分类：无油干式机械真空泵、油封式真空泵、罗茨真空泵、水环真空泵、加速分子泵和冷凝泵等。 真空泵的性能参数 1、真空泵的极限压强 泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。 2、真空泵的抽气速率 泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。 3、真空泵的抽气量 真空泵的抽气量单位是Pam3/s或Pal/s。是指泵入口的气体流量。 4、真空泵的起动压强 真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。 5、泵的前级压强 真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。 6、真空泵的最大前级压强 真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。 7、真空泵的最大工作压强 真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。 各式泵的工作原理 无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。 目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原 有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。 对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。 干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用干式机械真空泵可以满足要求;4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵;5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。 近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式机械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式真空泵主要有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触型的干式泵有：罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用于大容量，低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。 油封式真空泵是用油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的机械真空泵统称。它们的工作原理都是使泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当泵腔内工作室容积变得最小时，与泵的入口管道连通，于是气体进入泵吸入腔，一直到吸入腔容积最大并重新与进气口分开时为止。当容积减少时，气体被压缩，直到气体的压力大于一个大气压，排气阀被打开，将气体排出。 用油作密封泵的必要性：当前大量使用的机械真空泵，即使设计得最好，相向运动的零件间配合精度即使很高。在泵达到极限真空时，也难以阻止气体由低真空端向入口端“突破”返流。另外，由于泵在设计制造及装配中不可避免地存在有害空间，这也降低泵的极限真空度。油封式真空泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来;将有害空间充填，使得高压气体反“突破”的机会少得多，密封性能也就好得多，从而使泵能达到较高的真空度。 油封式真空泵的应用，油封式真空泵按照结构型式可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式四种。目前，油封式真空泵是国内真空获得技术中应用最广的一种泵，它可单独用作低真空设备的排气用泵，也可用作高真空排气时的前级真空泵。真空行业中广泛使用的油封式机械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑阀泵。因此，它已在国民经济的很多部门，例如电真空、电子、