真空技術真空元件管路接頭與閥門介紹.pdfVIP

Southern Taiwan University 真空技術 真空元件-管路接頭與閥門介紹 授課老師 ：吳文端 授課老師 ：吳文端 報告人:王俊弘 報告人:王俊弘 學號 :M99L0102 學號 :M99L0102 1 Outline Southern Taiwan University 1. 前言 2. 真空元件 3. 結論 4. 參考文獻 2 前言 Southern Taiwan University 管路接頭與閥門 ： 組成真空系統時 ，腔體與腔體之間的連接 ，或是腔體與幫浦的連接也是很 重要的問題 。管路的連接方式牽扯到如何在連接後不會漏真空 ，同時也必 須考慮一旦真空度到達時 ，或是有其他用途時 ，如何隔離真空 。 閥門是用來控制氣體流通的門戶 ，同時也是阻隔不同壓力區的腔體 ，它的 重點在於必須能夠承受壓力不會變形 ，閥門的材料大致分為黃銅 、鋁以及 不鏽鋼等材質 。 黃銅閥門 ：用在foreline ，或是不具有腐 蝕性的氣體環境 。 鋁閥門 ：壓力範圍涵蓋全部 。 不鏽鋼閥門 ：壓力範圍涵蓋全部 ，可使 用在腐蝕性的氣體環境裡 。 3 Southern Taiwan University 閥門與其他管件銜接時 ，其密合的方式有採用O-ring以及金 屬式(俗稱Gasket)的密合 ，金屬的密合可耐到300℃ ，而O- ring則視種類而定 ，若是Buna-N只能耐80℃ ，若是Viton則是 可以耐到200 ℃ 。 常見閥門之種類 ： O-ring的密合方式 ： •Gate valves •O-ring密合方式 •Right-angle and block valves •金屬的密合方式 •Straight-through valves •Ball valves •Inline valves •Butterfly valves 4 常見閥門之種類 Southern Taiwan University ‧基本構造 真空閥門基本構造 5 常見閥門之種類 Southern Taiwan University ‧粗抽及前級閥門 兩種常用之初抽與前級閥門 6 常見閥門之種類 Southern Taiwan University Right-angle and block valves 這種閥有O-ring