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微波等离子体 微波等离子体反应器特点： 微波：为交流能量（信号），通过波导传输，每一种波导 具有一定的特征阻抗 （射频传输线理论） 离子体的反应器:本质上是具有一定阻抗的负载 离子体的反应器: 本质上是具有一定阻抗的负载 微波等离子体工作要求： 波导特征阻抗二等离子体负载 阻抗 微波反射波能量将至最低 微波等离子体反应器发展： 小尺寸共振腔---- 表面波长细等离子体--- 大面 积（体积）表面波等离子体。 微波等离子体反应器结构： 。单模谐振腔 谐振腔尺寸：R = %d=，u （谐振条件） 阻抗匹配：好，可以不设置附加匹配。 激励电场 单模（单一本征模） 方向：图中电场沿轴向 状态：驻波 缺点：体积小（？） 电场不均匀----- 等离子体空间均匀性差。 应用：放电灯，光谱分析。 :i:!!!m!!!ili:::，川 m5i:川=::ill r I--—■to-.:i:!!m!!!ili:::， l:ll3p ■■::■::^s::ill iiili :i:!!!m!!!ili:::， 川 m5i:川=::ill r I--—■to-. :i:!!m!!!ili:::， l:ll3p ■■::■ ::^s::ill iiiliE?i 丽hH iiii.il!.dil --I- -—-7 一IL匕. iiih!Mlii 楣Jin 那百 -mjHi -ira—--—. - n.1 -- Ini 1 --1. ]M“iln_llE=iiii ■::l[Klt:::■::!Ll:n:n .i-i -. 1 --.i= 谐振条件：R= ,d= 。多模腔 谐振腔尺寸：R ?九;d ?九（非谐振） 阻抗匹配：差，需要附加匹配。 优点：电场较均匀----- 等离子体空间均匀性好。 多模腔 。表面波等离子体（surface microwave plasma,SWP ）源 尺寸：R = ?.（谐振条件），轴向尺寸没有限制 阻抗匹配：需要设置附加匹配。 激励电场 单模或多模（单一本征模） 状态：行波 优点：大体积，细长 缺点：面积小 应用：气体反应（甲烷--- 乙快），有害气体处理 多管swfW 两种方式：（a）顶面馈入；（b）侧面馈入日本顶面狭缝（重点）（b） 德国环状狭缝（侧面）耦合;（c）法国改进型表面波导（侧面）耦合美国:waveguideplunderplasmamicrowave (2,45 GHz)ppikal emission 两种方式：（a）顶面馈入；（b）侧面馈入 日本顶面狭缝（重点） （b） 德国环状狭缝（侧面）耦合; （c）法国改进型表面波导（侧面）耦合 美国: waveguide plunder plasma microwave (2,45 GHz) ppikal emission 网传rn * bottom view I % = 0.4 kW 32 mTorr, Ar 三种 装置：（a）日本平面狭缝（顶面）耦合; 中国（中国科大、合肥等离子体物理所---- 大面积/体积SWFW （1）两种加热模式 德国版 01234Heating:Bulk Surface 0 1 2 3 4 Heating: Bulk Surface 0) M emBJOdEDl UOJOOM Electron density (10n cm3) bulk heating: 整体加热 surface heating: 表面力口热 分界点：f 波 二f电子等离子体 n = n截止 O同加热模式下等离子体参数轴向分布 0 1 2 3 4 5 6 a II .■ 1 ■ 11 .hl I ■ ? ■ I .fa ? ■ i ll r fa ■ I fa I 0 1 2 3 4 5 6 1 巴￡ (7=。一三一)9 (wunfs 七 _ 0 1 2 3 4 5 6 Depth from window Z (cm) Microwave M crovjave Plasma Surface ~Wave Skin Depth 5 High Density氏） 不同加热模式的电子加热机理 Siow electrons are trapped in ainbipc^r potential well. g f㈤ Energy E Energy E 截止密度点（共振点）处的特性及验证 HosonncG layer position 心匚叁5 匚OJP UOJTJ?山 F mEMOI0s 预测: Resonance ayer poshion X4?一一思匚一心EMOJWS 实验验证: 装置 Microwave [2,4： 2.0GHl 1522 W 广 Quartz window13 56 MHz. Quartz window 13 56 MHz. t—、Rect