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电子散斑干涉技术的使用
目录
特点及基本概念
测量光路及方法
图像采集方法
图像处理
方法特点
测量精度高,实时监测,实时处理;(390~780纳米)
全场检验;
非接触性;
结果易于保存;
电子散斑干涉技术
一种高精度、非接触式、全场实时的光学干涉测量技术。
干涉与散斑
相同的频率(相干光)
相同的振动方向
固定相位差
A振幅 I 光强 δ相位差
干涉三要素
散斑定义:
当一组相干光照射到粗糙等物体表面引起漫反射,而表面各部位反射所发出的次波在物体表面的前方发生干涉,从而形成大量的明暗相间的光斑。
基本依据
随机分布,但是对于固定光源且同一物体表面来说,其分布规律也是一定的,即,散斑空间特性只决定于光源的特性和被照射物体表面。所以,在光源固定的前提下,散斑的特性与物体表面存在着固定的关系。
通过对物体发生形变(位移)前后分别测得的干涉散斑信息,进行处理分析,得到物体表面的位移改变量。
离面测量系统
I 光强 A 振幅 I=A2
δ位移引起相位差 φ漫反射产生的随机相位差
基于迈克尔逊干涉仪离面干涉系统
改进离面干涉系统
不足:分光棱镜尺寸受制于被测物体
面内测量系统
U对应X轴方向的运动,面内运动
光路特点:
两束光对称入射(消除离面位移)
每两束光只能测量一个方向面内位移
离面位移、面内位移同时改变相位差
分别在特定条件下,分解计算
剪切散斑
分类
基于迈克尔逊干涉光路
基于光楔剪切成像
基于特斯拉棱镜
基本想法:
产生位错,数学上对自变量进行差分
差分放大微小变形,提高测量精度
优点:1、无需参考光束,简化实验仪器
2、直接测量表面应变(表面位移的一维导数)
特斯拉棱镜
将一束无偏光束分成两个偏振方向互相垂直的线偏振光,且两束光分离角相对于入射角方向对称.
时间平均方法
效果图
时间平均方法 图像相减方法
tau
图像相减方法
分类
动减动
动减静
效果图
原理:相减消除背景光
概率方法
基于图像处理中图像平均降噪方法(随机噪声)
同时,利用高速相机连续采图技术
带噪图像模型
平均
标准差
期望值
效果图
eta
图像基本处理
图像增强
噪声去除
目的
方法
内容
基本分类
作用对象
灰度变换
r变换前灰度
s变换后灰度
线性函数
对数函数
幂律函数
单一像素点
空间域滤波法
平滑空间滤波
锐化空间滤波
像素点及其领域
频域滤波法
傅里叶变换
频域滤波
傅里叶逆变换
低通滤波
高通滤波
频域图像
相位解调技术
相移方法(多幅图像条纹求解相位)
单幅条纹图求解相位
从条纹图中解调出条纹的相位
使用偏振光学原件
用位移改变相位
产生相移方法
四步相移技术
参考文献
Wei-Chung Wang, Chi-Hung Hwang and Shu-Yu Lin. Vibration measurement by the time-averaged electronic speckle pattern interferometry methods[J] . Applied Optics, 1996,35(22):4502-4509
Ching-Yuan Chang, Shih-Hao Lin, and Chien-Ching Ma. High-resolution electronic interferometry for the measurement of in-plane vibration[J].Applied Optics.2012, 24(51):5773-5779
J.A.Leendertz and J.N.Butters. An image-shearing speckle-pattern interferometer for measuring bending moments [J]. Journal of Physics,1973,6:1107-1110
Yau Y. Hung ,Charles E.Taylor. Speckle-Shearing Interferometric Camera-A Tool For Measurement Of Derivatives Of Surface-Displacement[J]. Technical Symposium, 1974, 41:169-176
洪友仁,何浩培,何小元. 剪切散斑 一种光学测量技术及其应用[J]实验力学, 2006, 21(6):667-688
杨福俊,何小元,陈陆捷. 现代光测力学与图像处理[M].南京:东南大学出版社,2015
Rafael C.Gonzalez and Richard E.Woods. Digital image
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