ic半导体测试基础(中文版).pdfVIP

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  • 2021-07-25 发布于江西
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. 本章节我们来说说最基本的测试——开短路测试(Open-Short Test),说说测试的目的和 方法。 一.测试目的 Open-Short Test 也称为ContinuityTest 或Contact Test,用以确认在器件测试时所有 的信号引脚都与测试系统相应的通道在电性能上完成了连接,并且没有信号引脚与其他信号 引脚、电源或地发生短路。 测试时间的长短直接影响测试成本的高低,而减少平均测试时间的一个最好方法就 是尽可能早地发现并剔除坏的芯片。Open-Short 测试能快速检测出DUT 是否存在电性物理 缺陷,如引脚短路、bond wire 缺失、引脚的静电损坏、以及制造缺陷等。 另外,在测试开始阶段,Open-Short 测试能及时告知测试机一些与测试配件有关的 问题,如ProbeCard 或器件的Socket 没有正确的连接。 二.测试方法 Open-Short 测试的条件在器件的规格数或测试计划书里通常不会提及,但是对大多 数器件而言,它的测试方法及参数都是标准的,这些标准值会在稍后给出。 基于PMU 的Open-Short 测试是一种串行(Serial )静态的DC 测试。首先将器件 包括电源和地的所有管脚拉低至“地”(即我们常说的清0 ),接着连接PMU 到单个的DUT 管脚,并驱动电流顺着偏置方向经过管脚的保护二极管——一个负向的电流会流经连接到 地的二极管(图3-1 ),一个正向的电流会流经连接到电源的二极管(图3-2 ),电流的大 小在100uA 到500uA 之间就足够了。大家知道,当电流流经二极管时,会在其P-N 结上引 起大约0.65V 的压降,我们接下来去检测连接点的电压就可以知道结果了。 既然程序控制PMU 去驱动电流,那么我们必须设置电压钳制,去限制Open 管脚 引起的电压。Open-Short 测试的钳制电压一般设置为3V——当一个Open 的管脚被测试到, 它的测试结果将会是3V 。 串行静态Open-Short 测试的优点在于它使用的是DC 测试,当一个失效(failure ) 发生时,其准确的电压测量值会被数据记录(datalog )真实地检测并显示出来,不管它是 Open 引起还是Short 导致。缺点在于,从测试时间上考虑,会要求测试系统对DUT 的每个 管脚都有相应的独立的DC 测试单元。对于拥有PPPMU 结构的测试系统来说,这个缺点就 不存在了。 当然,Open-Short 也可以使用功能测试(Functional Test )来进行,我会在后面相 应的章节提及。 精品 . 图3-1.对地二极管的测试 测试下方连接到地的二极管,用PMU抽取大约-100uA的反向电流;设置电 压下限为-1.5V,低于-1.5V (如-3V)为开路;设置电压上限为-0.2V,高于-0.2V (如-0.1V) 为短路。此方法仅限于测试信号管脚(输入、输出及IO 口),不能应用于电源管脚如VDD 和VSS. 精品 . 图3-2.对电源二极管的测试 测试上方连接到电源的二极管,用PMU驱动大约100uA的正向电流;设置电 压上限为1.5V,高于1.5V (如3V)为开路;设置电压下限为0.2V,低于0.2V (如0.1V) 为短路。此方法仅限于测试信号管脚(输入、输出及IO 口),不能应用于电源管脚如VDD 和VSS. 电源类管脚结构和信号类管脚不一样,无法照搬上述测试方法。不过也可 测试其开路情形,如遵循已知的良品的测量值,直接去设置上下限。 精品 . 第四章.DC参数测试(1)

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