Channel5 Flamenco数据采集简要流程 v3.pdfVIP

Channel5 数据采集简要流程（Flamenco ） 注：本流程仅是Flamenco 的基本操作过程，详细参数设置请参阅相关说明书 一．数据采集前的准备 1. 将制备好的样品适当装夹后，放入SEM 样品室 2. 真空达到要求后，设置合理的加速电压（通常为 20kV ），选择适合的区域扫描，得到 样品图像。 将样品台倾转70 度，并使用图像倾斜校正（Tilt Correction ）。 *注意：请务必先在视野中观察到所分析样品，再将EBSD 探头伸入样品室。 3. 打开EBSD 控制器（Control Box ），按住控制手柄IN 键将EBSD 探头伸入样品室，到 工程师校准数据文件规定的位置为止。打开SEM 的CCD 相机观察探头位置（视电镜 配置）。 4. 打开Flamenco 软件: -选择Profile ； -选择Full INCA Integration…….选项，点击OK 。(Simulation 选项只用作脱机处理或 演示) 。 二．标定设置 1.