棕化、层压工艺规范标准.pdfVIP

. 1、目的：规层压工序制程能力的管控。 2 、围：适用于层压工序制程能力的管控。 3 、职责： 3.1 层压工序工艺工程师按规要求管控该工序制程能力； 3.2 技术中心负责该规的编制与更新。 4 、模块划分： 序号 规模块 容 1 制程目标 工序产品能力、设备能力、制程能力、产品类型及工艺流程 2 工序资源 工序设备物料资源 3 基本原理 工序药水反应机理、设备作用原理 4 工艺原则 工序参数设定原则、生产控制原则及特殊产品要求 5 工艺维护 工序维护保养容方法和标准 6 制程监控 工序制程监控容及制程测试方法和标准 7 制程改善 制程状态改善方法和途径 8 偏差处理 规和生产实际偏差的处理方法和途径。 5 、制程目标 5.1 产品能力：详见附件三《层压工序产品能力参数表》 5.2 设备能力：详见附件二《层压工序设备能力参数表》 5.3 制程能力：详见附件四《层压工序制程能力参数表》 5.4 产品类型和工艺流程 产品类型 工艺制作流程 常规板 来板→棕化→预叠→叠合→压合→ X-Ray 钻靶→铣边→出板 层底铜大于等于 20Z 板，盲孔板、高频板 来板→棕化→烘板→预叠→叠合→压合→ X-Ray 钻靶→铣边→出板 来板→烘板→棕化→烘板→预叠→叠合→压合→ X-Ray 钻靶→铣边→出 层过电镀的板 板 6 、工序资源 6.1 设备资源：详见附件六《层压工序设备列表》 6.2 物料资源：详见附件五《层压工序物料列表》 7 、基本原理 7.1 棕化 层芯板经过棕化处理后，在铜面形成一层均匀的 棕色有机金属膜 ，可增强铜面与半固化片的结合力，同时在高温 压合过程中，阻止铜与半固化片的氨基发生反应。产品实现的基本原理有药水作用原理、设备作用原理等。 7.1.1 棕化反应机理 7.1.1.1 酸洗 酸洗的主要作用是去除铜表面氧化物，中和残余退膜液，粗化铜面，保证稳定的微蚀、成膜及着色。酸洗段的主 要成分为过硫酸钠（ NaPS）、H2SO4 。其反应机理如下： Cu+CuO+H2SO4 +Na2S2O8 →2CuSO4 +Na2SO4 +H2 O 影响酸洗效果的因素及影响趋势如下： . . . 序号 影响因素 具体影响 NaPS浓度是影响酸洗段效果的主要影响因素， 随着 NaPS浓度的增大， 微蚀量增大， NaPS 1 NaPS浓度 浓度过高会影响层铜厚及线宽的控制。 2 4 2 4 2 4 2 H SO 浓度 H SO 浓度是影响酸洗效果的因素之一， H SO浓度过低，酸洗效果不佳会导致棕化不良。 根据阿伦尼乌斯方程： lnk=lnA-Ea/RT 。其中 k 为速率常数， Ea 为实验活化能， A 为指数 3 温度 因子。当温度越高，速率常数越大，反应速率越大。但温度过高，又不利于药水控制与