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知识水坝论文 东北大学 硕士学位论文 离子辅助中频非平衡磁控溅射制备类金刚石薄膜 姓名：周祎 申请学位级别：硕士 专业：流体机械及工程 指导教师：张以忱 东北大学硕士学位论文 摘要 知识水坝论文 离子辅助中频非平衡磁控溅射制备类金刚石薄膜 摘要 本文首先对类金刚石薄膜的研究背景、结构、性能、制备方法、表征、应用、以及 生长机理进行了综述。在此基础上，利用霍尔等离子体源辅助中频非平衡磁控溅射技术 制备了类金刚石薄膜，并研究了基底偏压、基底温度、霍尔放电电流、Ar／N。比例以及 过渡层与不