《传感器与检测技术》教学课件 第四章.pptVIP

学习目标 掌握变面积、变极距、变介质电容传感器的组成和工作原理；了解电容传感器的测量电路；掌握电容传感器的基本使用方法。 第一节电容式传感器的结构、工作原理和特性 以电容器作为敏感元件，将被测物理量的变化转换为电容量的传感器称为电容式传感器。当忽略边缘效应时，平板电容器的电容量C可以表示为： 式中：ε—电容极板间介质的介电常数， ε=ε0εr； ε0—为真空介电常数； εr—为极板间介质相对介电常数； A—两平行板所覆盖的面积； d—两平行板之间的距离。 当被测参数变化使得式（4-1）中的A、 d和ε发生变化时，电容量C也随之变化，如果保持两个参数不变，而改变三个参数中任何一个，就可以把该参数的变化转化为电容量的变化，通过测量电路就可以转化为电量输出。 电容式传感器可以分为三种类型：改变极板面积A的变面积式；改变介电常数εr的变介电常数式；改变极板距离d的变极距式；它们的电极形状有平板形、圆柱形和球面形三种。 电容式传感器的特点有：结构简单，非接触测量，灵敏度高，分辨率高，动态响应好，可在恶劣环境下工作。但易受电磁干扰，受温度影响大，存在寄生电容等是其明显的缺点。 一、变面积型电容传感器 变面积型电容传感器的结构如图4-1所示，图4-1（a）、（b）、（c）所示为单边式，图4-1(d)所示为差动式，图4-1（a）、(b)所示结构也可做成差动形式。变面积型电容传感器的特点是测量范围大，可测较大的线位移和角位移。一般情况下，变面积型电容传感器常做成圆柱形，如图4-1(c)(d)所示。 图4-1 变面积型电容传感器结构原理图 (a)、(b)、(c)单边式，(d)差动式 1、3-固定极板，2-可动极板 极板间为空气介质，不考虑边缘效应时，电容的初始电容C0为： 图4-3 差动变极板遮盖面积电容传感器原理图 2.二极管双T型交流电桥 图4-10所示是二极管双T型交流电桥原理图。Ui为高频方波电源，D1、D2为特性完全相同的两个二极管，R1、R2为阻值相等的固定电阻，C1、C2为传感器的两个差动电容，当传感器没有输入时，C1=C2。 图4-10 二极管双T型交流电桥原理图 （4-1） (a) (b) (c) (d) 图4-2 变面积式电容传感器的原理图 当动极板移动△x后，两板极间的电容变为： （4-2） （4-3） 电容的变化量为： （4-4） 灵敏度K0为： （4-5） 图4-3是改变极板间遮盖面积的差动电容传感器的原理图。上、下两个圆筒是固定极板，而中间的为可动极板，当可动极板向上移动时，与上极板的遮盖面积增加，而与下极板的遮盖面积减小，两者变化的数值相等，传感器输出为两电容之差。 二、变极距型电容传感器 图4-4 变极距型电容传感器结构原理图 1、3为固定极板，2为可动极板 图4-5 变极距型电容传感器原理图 图4-5为变极距型电容传感器的原理图，图中上极板固定不动，下极板随被测参数的变化上下移动，引起极板间的距离d0相应变化，从而引起电容量发生变化。 电容器（空气介质）的初始电容量为： （4-6） 当初始间隙d0减小△d时，则电容量增加△C，即： （4-7） 电容的相对变化量 ： 为 （4-8） 对上式进行线性处理，可得： （4-9） 由此可得电容传感器的灵敏度为： （4-10） 利用上述公式可得到传感器的非线性误差，其值γL为： （4-11） 在实际应用中，为解决提高传感器的灵敏度和减小非线性误差这一矛盾，常采用图4-6所示的差动变极距电容结构。 图4-6 差动变极距型电容传感器 当动极板移动时，其中一个电容C1随位移增加而增加，另一个电容C2随位移增加而减小，构成差动结构，其特性方程为： （4-13） （4-12） 采用电桥测量电路时，将两差动电容接在相邻桥臂上，可得到传感器电容的总的相对变化为： （4-14） （4-15） 对上式进行线性处理： 由此可得电容传感器的灵敏度为： （4-16） 即灵敏度K0与初始间隙d0成反比关系，同时作近似线性处理后会带来传感器的非线性误差γL为： （4-17） 由以上分析可知，电容传感器采用差动形式后，灵敏度提高，线性变好，采用差动技术是提高传感器的综合性能的很重要的方法。 三、变介电常数型电容传感器 变介电常数型电容传感器的结构原理如图4-7所示。 (a) (b) (c) (d) 图4-7 变介电常数型电容传感器结构原理图 ——测量电介质的厚度，如图4-7(a)所示 ——测量位移如图4-7(b)所示 ——测量液位如图4-7(c)所示 ——还可根据极间介质的介电常数随温度、湿度、容量改