薄膜材料与技术概述.pptVIP

薄膜厚度及沉积率表征方法的主要分类： 5.1.1 气相原子密度法 一、测量原理 (如右图所示，与电离真空计类似)： 1、气相原子进入探头  灯丝热电子轰击  电离；2、电场作用下：电离出的电子→阳极、离子→阴极 (收集极)；3、收集极电流 Ii 和阳极电流 Ie 满足：Ii  nIe 沉积速率 ( ) 满足： 膜厚 D 满足： 此处：n — 气相粒子密度；  — 膜材料密度； a — 常数。 二、特点： 1、膜厚测量的相对误差 ≈ 10%；2、测量结果和蒸发源温度及残余气体气压有关 (分别影响 a 和 Ii )。 5 薄膜表征 5.1 薄膜的厚度/沉积速率 1、测量原理：调整线圈电流，使薄膜增重引起的重力力矩 和线圈所产生磁场与吸铁间的磁场力达到平衡， 即可换算出薄膜质量，而薄膜厚度满足： 2、特点： 灵敏度很高 ( 0.01g)，可测单层原子膜厚。 5.1.3 石英晶体振荡法 1、测量原理：基于石英晶体薄片的固有振荡频率随其质量变化 而改变的物理现象，石英晶体的固有频率满足： 式中：v — 厚度方向弹性波波速；Dq — 石