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光学薄膜技术论文 光学薄膜及其应用研究 【摘要】光学薄膜是一类重要的光学元件，它广泛地应用于现代光学、光电子学、光学工程以及其他相关的科学技术领域。在光的传输、调制，光谱和能量的分各与合成以及光与其他能态的转换过程中起着不可替代的作用。 【关键词】光学薄膜 制备 应用 1光学薄膜的制备技术 1.1物理气相学沉积PVD 1热蒸发 光学薄膜器件主要采用真空环境下的热蒸发方法制造，此方法简单、经济、操作方便。尽管光学薄膜制备技术得到长足发展，但是真空热蒸发依然是最主要的沉积手段，当然热蒸发技术本身也随着科学技术的发展与时俱进。 2溅射 溅射指用高速正离子轰击膜料靶表面，通过动量传递，使其分子或原子获得足够的动能面从靶表而逸出溅射，在被镀件表面凝聚成膜。其膜层附着力强，纯度高，可同时溅射多种不同成分的合金膜或化合物。 3离子镀 离子镀兼有热蒸发的高成膜速率和溅射高能离子轰击获得致密膜层的双优效果，离子镀膜层附着力强、致密，离子镀常见类型：蒸发源和离化方式。 4离子辅助镀 在热蒸发镀膜技术中增设离子发生器――离子源，产生离子束，在热蒸发进行的同时，用离子束轰击正在生长的膜层，形成致密均匀结构聚集密度接近于1，使膜层的稳定性提光学薄膜制备技术高，达到改善膜层光学和机械性能。