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MEMS器件及其封装相关2会计学MEMS压力传感器的概念及其特点MEMS压力传感器的发展及应用MEMS压力传感器原理及封装重要的MEMS压力传感器MEMS器件惯性MEMS器件加速度计陀螺压力传感器光学MEMS器件微光开关微光学平台微执行器微喷微马达生物MEMS器件其他MEMS压力传感器的概念微机电系统（MEMS）是指用微机械加工技术制作的包括微传感器、微致动器、微能源等微机械基本部分以及高性能的电子集成线路组成的微机电器件与装置。MEMS压力传感器是一种薄膜元件，受到压力时变形。可以利用应变仪（压阻型感测）来测量这种形变，也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。MEMS压力传感器的概念MEMS尺度，小于1mmMEMS压力传感器的特点主要特点可以用类似集成电路（IC）设计技术和制造工艺，进行高精度、低成本的大批量生产相对于传统的机械量传感器，MEMS压力传感器的尺寸更小，最大的不超过1cm能耗低、可靠性高、易于集成、智能化MEMS压力传感器的发展（1）?发明阶段（1945?-?1960?年）?：这个阶段主要是以1947?年双极性晶体管的发明为标志。在此阶段，利用了硅与锗的压阻效应制成的压力传感器是把应变电阻片粘在金属薄膜上，即将力信号转化为电信号进行测量。此阶段最小尺寸大约为1cm。压阻式压力传感器MEMS压力传感器的发展（2）?技术发展阶段（1960?-?1970?年）?：随着硅扩散技术的发展制成了硅杯。这种形式的硅杯传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、便于集成化的优点（3）商业化集成加工阶段（1970?-?1980?年）?：在硅杯扩散理论的基础上应用了硅的各向异性的腐蚀技术。加工工艺主要有V?形槽法、浓硼自动中止法、阳极氧化法自动中止法和微机控制自动中止法扩散硅压力传感器MEMS压力传感器的发展（4）?微机械加工阶段（1980?年-）?：通过微机械加工工艺可以由计算机控制加工出结构型的压力传感器，其线度可以控制在微米级范围内。利用这一技术可以加工、蚀刻微米级的沟、条、膜，使得压力传感器进入了微米阶段。MEMS压力传感器的发展国内外MEMS压力传感器研究现状光纤压力传感器电容式真空压力传感器 耐高温压力传感器硅微机械加工传感器具有自测试功能的压力传感器多维力传感器MEMS压力传感器的发展光纤压力传感器利用了敏感元件受压力作用时的形变与反射光强度相关的特性应用于临床医学,用来测扩张冠状动脉导管气球内的压力石油测井专用光纤传感器MEMS压力传感器的发展电容式真空压力传感器由一块基片和厚度为0. 8～2. 8mm的氧化铝(Al2O3)构成,其间用一个自熔焊接圆环钎焊在一起该环具有隔离作用,不需要温度补偿,可以保持长期测量的可靠性和持久的精度MEMS压力传感器的发展 耐高温压力传感器SiC 压力传感器PN结泄漏电流很小,没有热匹配问题以及升温不产生塑性变型,可以批量加工硅微机械加工传感器线度可以达到1～2mm,可以放置在人体的重要器官中进行数据的采集具有自测试功能的压力传感器根据热驱动原理进行的，该传感器尺寸为1. 2mm ×3mm×0. 5mm ，适用于生物医学领域多维力传感器六维力传感器的研究和应用是多维力传感器研究的热点,现在国际上只有美、日等少数国家可以生产。MEMS压力传感器的发展趋势MEMS压力传感器的发展到2015年，MEMS压力传感器销售额将达到19.7亿美元, 复合年度增长率为10%。MEMS压力传感器的应用汽车电子：如TPMS发动机机油压力传感器、汽车刹车系统空气压力传感器、汽车发动机进气歧管压力传感器（TMAP）、柴油机共轨压力传感器消费电子：如胎压计、血压计、健康秤，洗衣机、微波炉、烤箱、吸尘器用压力传感器，空调压力传感器，洗衣机、太阳能热水器用液位控制压力传感器工业电子：如数字压力表、数字流量表、工业配料称重等?医疗领域：压力传感器主要充当外科手术使用的一次性低成本导管MEMS压力传感器的应用一辆高端的汽车一般都会有上百个传感器，包括30~50个MEMS传感器，其中就有十个左右的压力传感器。在轮胎压力监测系统（TPMS）中应用的压力传感器，则是未来市场中最看好的部分。目前99%的TPMS中采用的压力传感器都是基于MEMS技术的。MEMS压力传感器的应用用于汽车的MEMS传感器2010年的销售额达到了$ 662.3M，比2009年的$ 501.2M增长了32.1%MEMS压力传感器的应用MEMS压力传感器原理与封装MEMS压力传感器按原理分，有电容型、压阻型，压电式，金属应变式，光纤式等。主要有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机电传感器。硅压阻式压力传感器半导体受力时，电阻率发生变化，电阻率随应力变化的关系称为半导体压阻效应。半导体应变片电阻的变化主要