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洁 净 厂 房 设 计 规 范
ＧＢＪ73— 84
主编部门：中华人民共和国电子工业部
批准部门：中华人民共和国国家计划委员会
施行日期： 1985 年 6 月 1 日
目 录
第一章 总 则
第二章 空气洁净度等级
第三章 总体设计
第一节 洁净厂房位置选择和总平面布置
第二节 工艺布置和设计综合协调
第三节 噪声控制
第四节 微振控制
第四章 建 筑
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