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- 2021-08-18 发布于河北
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蚀刻用腐蚀液与配方比例
刻蚀基础（转载）
湿式蚀刻技术
最早的蚀刻技术是利用特定的溶液与薄
膜间所进行的化学反应来去除薄膜未被光阻覆
盖的部分， 而达到蚀刻的目的， 这种蚀刻方式也
就是所谓的湿式蚀刻。 因为湿式蚀刻是利用化学
反应来进行薄膜的去除， 而化学反应本身不具方
向性，因此湿式蚀刻过程为等向性， 一般而言此
方式不足以定义 3 微米以下的线宽，但对于
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