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- 2021-08-21 发布于河北
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半导体业危害鉴别及风险评估实务
姚嘉文 * 沈洲** 林冠佑 *** 张堂安 ****
摘 要
半导体厂由于制程特殊需求,必须使用各种化学品,其中不乏具有惰性、毒性、自 /
助燃及可燃性之气体;与强酸、强碱及有机溶剂之液态化学品,而这些气态或液态之化学
品经由储存、搬运、换酸 / 换钢瓶、管路输送、制程反应、管末处理后,若因操作
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