薄膜光学的理论基础.pptVIP

吸收介质中的波动方程与理想介质中的波动方程形式完全相同，其解形式也完全相同。仅考虑沿正方向传播的波，则电场强度矢量满足的矢量亥姆霍兹方程式（1-23）的平面波解为 将此式代入麦克斯韦方程（1-2）的第二式，得到磁场矢量平面波解为 假设等相位面与等振幅面重合，可令 （1-46） （1-47） 薄膜光学与薄膜技术基础 薄膜光学的理论基础 薄膜光学的理论基础是光的电磁理论，其内容包括：光的干涉、偏振和吸收，平面电磁波以及平面电磁波在介质表面的反射和透射等。鉴于后续章节的需要，本章简要介绍麦克斯韦方程、描述介质特性的物质方程、平面电磁波的解形式以及光强和电磁波谱。 1.1 麦克斯韦方程 宏观上讲，光的电磁理论全面揭示了光的主要性质，不仅适合各向同性介质，也适合各向异性介质；不仅适用于均匀介质，也适合非均匀介质；不仅适合吸收介质，也适 合导电体。麦克斯韦方程是描述一切宏观电磁现象的普遍规律，因而，薄膜光学中描述光传播特性的光波动方程可以由麦克斯韦方程导出。 考虑时谐电磁场，空间任一点的电场强度和磁场强度随时间作正弦或余弦变化，场量随时间变化的因子取ejωt，则有 (1-1) 在无源区域，介质介电常数为 ，且介质的电导率 ，则时谐形式的麦克斯韦方程为 式中 为介质的等效复介电常数。 (1-3) (1-2) 在求解具体的薄膜光学问题时，麦克斯韦方程还涉及反映介质特性的关系，即电磁场量之间关系的物质方程 (1-4) 式中 （F/m）为真空介电常数, 为复相对介电常数； （H/m）为真空磁导率；σ为电导率。 式（1-2）和式（1-4）构成麦克斯韦方程的限定形式，当 和 σ 给定之后，就可以针 对具体问题进行求解。下面就薄膜光学中涉及的介质参数作简单讨论。 （1）对于各向同性线性均匀介质，介质非导电 ， 取实常数，则式（1-3）简化为 （1-5） 式中n表示介质的折射率，均匀介质取常数值。 （2）对于各向同性线性非均匀介质，介质非导电 , 为实函数，则有 (1-6) 非均匀介质折射率n随空间变量变化。 （3）金属材料对光的吸收体现在电导率 在金属材料中，由于电子运动是自由的，所以在光波交变电场的作用下，通过电子运动方程的求解，可得金属材料的电导率为率 （1-7） 式中 为单位体积的导电电子数， 为电子质量， 为电子电荷。 称为弛豫时间，表 示在时间 内电流密度衰减到初始值的 。 代表电子运动的阻尼系数。 在介质均匀的情况下，利用麦克斯韦方程 （1-2）可导出金属材料的介电常数为 （1-8） 式中 为复折射率， 为光波圆频率。 为金属的等离子体频率，大小为 （1-9） 式中 表示真空中的光速。 令 （1-10） 式（1-8）和式（1-10）联立求解，得到 （1-11） 式中 称之为导电介质的折射率， 称之为消光系数。由式（1-11）可以看出，导电介质的折射率和消光系数是光波频率的函数，所以光波在导电介质中传播或在导电介质表面反射和透射都存在色散。 （4）对于通常的光学介质，其特征表现为在某一光频范围的辐射是透明的，比如玻璃 对于可见光波段是透明的，而半导体锗对于波长大于2μm的红外波段是透明的，等等。图1-1给出的是一些常用光学介质的透光范围。 介质对光的吸收分为两类：一般吸收和选择吸收。一般吸收与波长无关，吸收系数很小；选择吸收与波长紧密相关，吸收系数很大。选择吸收与构成介质的电偶极子有关，反映了介质中原子结构的本质。 光学介质的折射率随波长而改变的现象称之为介质的色散。色散与吸收密切相关，根据经典振子模型，可以说明色散和吸收现象。假设单原子中有Z个电子， 个电子对应的振子固有圆频率和衰减系数分别为 和 ，则由振子的运动方程求解可得介质的相对介 电常数为 （1-12） 式中 为复折射率； N为介质单位体积中的原子数， 为电子质量， 为电子电荷； 为光波圆频率。式（1-12）是对一个原子中的所有振子类型求和，显然有 （1-13） 式（1-12）是由稀薄气体推导出来的，对于稠密介质液体和固体，需要考虑偶极振 子间的相互作用，修正可得 （1-14） 当