20210823-中信证券-中微公司-688012-投资价值分析报告：半导体设备平台型龙头，技术全球领先.pdfVIP

半导体设备平台型龙头，技术全球领先 中微公司（688012.SH）投资价值分析报告 ｜2021.8.23 中信证券研究部 核心观点 公司是国内稀缺的半导体设备龙头，刻蚀设备技术先进、国内市占率领先，受 益晶圆厂扩产及国产化趋势；MOCVD 设备市占率全球第三，受益 Mini LED、 功率等细分成长需求景气。近年来公司内生外延并举，拓展 CVD 薄膜沉积、量 测与检测、VOC 等泛半导体设备领域，料国产替代趋势下将深度受益。我们看 好公司核心业务及泛半导体设备平台型公司的成长逻辑，预测2021~2023 年营 徐涛 业收入分别为30.25/43.75/57.20 亿元，净利润分别为5.52/7.47/9.25 亿元， 首席电子分析师 目标价221 元，首次覆盖给予“买入”评级。 S1010517080003 ▍公司概况：国内稀缺、全球领先的半导体设备公司。公司以刻蚀设备起家，后 推出 MOCVD 设备，并逐步拓展 VOC 设备等产品，2020 年实现营收/净利润 分别为22.73/4.92 亿元，过去4 年 CAGR 分别为38.97%/32.28%。从收入占 比来看，2020 年刻蚀设备/MOCVD 设备/VOC 设备/备品备件/设备维护/其他业 务分别占比 56.70%/21.82%/0.62%/ 19.43%/1.44%/0.01%。公司产品已进入中 联系人：王子源 芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、台积电、海力士、三安光电等头部 晶圆厂，刻蚀设备已进入台积电5nm 产线。未来，公司料将受益晶圆厂扩产及 国产替代持续，并通过内生外延扩张成长为泛半导体设备平台型企业，我们预 计公司未来三年营收CAGR 为34%。 ▍刻蚀设备：长期深耕、技术领先，受益刻蚀环节价值提升及国产化。目前 IC 制造刻蚀以干法为主，根据 Gartner 数据，2020 年全球 IC 干法刻蚀设备市场 约 140 亿美元，该机构预计 2020~2024 年 CAGR 为 5.8%。竞争格局看，刻 蚀设备市场高度集中，海外大厂垄断，2020 年 CR3 超过 90%。公司是国内唯 一兼具 CCP/ICP 两种刻蚀技术的企业，产品线覆盖 65nm-5nm 各制程，涵盖 存储、逻辑芯片等应用领域，凭借双反应台配置的高生产效率及国际领先的性 能，在存储厂及晶圆代工厂份额持续提升，目前在长江存储/华力集成招标中设 备数占比 14.2%/17% ，设备数国内第一。公司拟定增募资扩充刻蚀设备产能 630 腔/年，2026 年达产后产能将较2021 年提升6 倍，公司有望在刻蚀设备技 术继续深挖，完善刻蚀设备产品线，未来料持续受益国内晶圆厂扩产+国产化 趋势。 ▍薄膜沉积设备：MOCVD 迎来业绩拐点，广泛布局 CVD 打开更大市场。据 Maximize Market Research 数据，2020 年全球半导体薄膜沉积设备市场规模