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PVD设备及工艺简介 目 录 PVD设备简介 泵 靶 真空测量 真空检漏 PVD工艺简介 PVD相关概念定义 真空度量单位 磁控溅射 铂阳生产线相关工艺简介 合金靶的溅射 金属氧化物的溅射 PVD设备简介 铂阳生产线PVD真空设备布局图 抽空系统 抽空系统 一、2X泵 1. 概述: 1.1 用途: 2X型旋片式真空泵(以下简称真空泵)是用已抽除特定密封容器内的气体,使该容器获得一定真空度的基本设备.可供电器、电真空、半导体、食品、原子能、编织等科研机关、大专院校、工矿企业和生产与教学之用,真空泵可直接获得1.3×10Pa以下的真空度,也可作为其它真空设备的前级使用. 1.2 特点及其不适用范围: 真空泵是用黑色金属制造,属较精精密的设备,真空泵的主要工作部件浸在特制的真空泵油中工作,因此不适用于抽含氧过高的、有毒的、有爆炸性的、对真空泵油起化学作用或对黑色金属有腐蚀作用的气体,如必须使泵抽出前述情况的气体,应在进气管道上加装中和、冷却、过滤等有关装置配合使用,否则将影响真空泵使用性能和寿命,也不能作为压缩机和输送泵使用. 常用泵为2X-30、2X-70泵两种. 抽空系统 抽空系统 2. 技术要求: 2.1 品种规格及性能: （见右表） . 热偶计测量的是各种蒸汽和永久气体的总压力,而麦化计只能测出永久气体占的分压力. . 几何抽速是根据几何尺寸算出的抽速在大气压力时,实际抽速与几何抽速基本相符合,在各种不同的压力时,抽速有一定下降. . 温升是指泵温稳定后,在排气阀门处的油的温度与室温之差. 抽空系统 2.2 型号的组成及代表意义: X - 30 表示每秒的抽气速率 表示旋片式真空泵 表示双级泵       2.3 使用环境条件: 环境温度5~40℃. 相对温度不大于90%。 抽空系统 3. 结构与工作原理. 3.1 结构: 2X系列的各种真空泵外形和结构基本相同.泵由电机经三角皮带传动转子电机和泵用螺钉卡板固定在底盘上. 泵由泵体、高转子、低转子、前端板、后端板、高转片、低转片、排气阀、排气罩、视镜……等零部件组成. 在泵体内压入一个中隔板,将泵体分成高低真空室,各室都有排气门.高真空室排气与低真空室进气相通.高转子前端伸出前轴,后端伸出后轴.前轴通过前端板的轴承支持,经过油密封室而伸出前端板外;后轴由中隔板上的轴承支持;而伸入低真空室内,低真空室转子则装在后轴上,故高低转子均由前轴带动,高低转子都有对开的槽子,呈“T”型的转片由弹簧支撑开而装于槽内.泵的进气口处有过滤网,而排气口处有挡油网,大泵还有挡油板,视镜左边有掺气阀,下边有放油塞。 抽空系统 1. 皮带轮 2. 键 3. 前端板 4. 高转子 5. 高转片 6. 进气嘴 7. 密封圈 8. 排气罩 9. 过滤网 10. 泵体 11. 低转子 12. 弹簧 13. 低转片 14. 后端板 15. 密封圈 16. 手柄 17. 放油塞 18. 纸垫 19. 阀座 20. 阀片 21. 挡板 22. 视镜 23. 镜框 24定位销钉 抽空系统 1. 进气嘴 2. 密封圈 3. 过滤网 4. 皮带轮 5. 前端板 6. 高转片 7. 高转子 8. 轴承 9. 前轴 10. 油密封室 11. 弹簧 12. 定位销 13. 排气罩 14. 排气垫 15. 挡油网 16. 泵体 17. 中隔板 18. 后端板 19. 低转子 20. 水接头 21. 键 22. 低转片 23. 水盖板 24. 排气阀 25. 视镜 27. 掺气阀 27. 放油塞 表示真空气格. 表示低真空气路. 抽空系统 3.2 工作原理: 图3是2X系列真空泵原理图,转子3及7与高真空室1及低真空室6相切,转子3与7沿箭头方向旋转,带动转子槽内滑动的转片8旋转,由于弹簧9及离心力的作用,转片外端紧贴高低真空室的内表面滑动,把转子与高低真空室所形成的洼形空间从进气嘴2到排气阀门5和从过气管4到排气阀门10之间分隔开来,形成二或三个容积,并且周期性地大小变化,当在图标位置继续旋转时,A及C容积逐渐增大,被抽容积气体沿气嘴进入泵内,同时B及D容积逐渐减小,压力升高,随后冲开排气阀门5及10,将气体排出真空室外,气体经过油面而排于大气之中,因为油是淹住排气门的,故能防止气体返回真空室,当抽气压力较高时,高低真空室的阀门都排气,相当于单级泵;当真空度较高时,全部气体进入低真空