V-Master VOC去除装置培训资料.ppt

* ???ENG ????? ??: ??/?? V-Master (Rotor Type – VOC 去除装置 ) (?) Shinsung ENG 目录 V-Master V-Master 评价事例 VOC的影响 2 1 3 分析技术保有现状 4 生产业绩 5 1. VOC的影响 Adhesion of Contaminants to the glass surface　 → A Factor of Lower Productivity Clean Room 内污染因子 Particle Moisture/Oxygen Metals Dopants VOCs Basic (NH3) Acid VOC的影响 ① 在玻璃表面上形成粒子或薄膜 ② 引起玻璃表面的疏水化，而结晶效率降低 ③ 蚀刻不均现象 ④ 光学设备镜头上发生不纯物质 对制造环境的影响 VOC 物质的影响 Confidential VOC 发生过程 TFT 工艺流程图 刻蚀 光阻 去除 清洗 成膜 清洗 光阻 涂布 曝光 显影 玻璃基板上薄膜沉积 Sputter :金属膜 PECVD : 半导体膜/绝缘膜 玻璃基板上的异物去除 由掩模照射UV光 掩模 用Stripper去除光阻 未被保护的薄膜将通过刻蚀去除 WET ETCH : 金属膜 DRY ETCH : 半导体膜/绝缘膜 溶解的光阻去除 玻璃