《机电一体化系统设计》第5章 检测系统设计（精品课件）.pptVIP

第5章 检测系统设计 5.1 概述 5.2 线位移检测传感器 5.3 角位移检测传感器 5.4 速度、加速度传感器 5.5 测力传感器 5.6 传感器的正确选择和使用 5.7 检测信号的采集与处理 5.1 概述 一、定义及分类： 1、定义：传感器是将力、温度、位移、速度等量转换成电信号的元件。“传感器技术是机电一体化的第一基础” 2、分类 按能量变换的功能分： 按输出的信号分： 物理传感器 化学传感器 计数型（二次型+计数型） 电压，电流型（热电偶,Cds电池） 电感，电容型（可变电容） 有接点型(微动开关，接触开关， 行程开关) 传感器 电阻型（电位器，电阻应变片） 非电量型 二值型 电量 无接点型(光电开关，接近开关) 模拟型 数字型 代码型（旋转编码器，磁尺） 二、传感器的基本特性 1. 传感器的静特性 传感器的静态特性是指当被测量处于稳定状态下，传感器的输入与输出值之间的关系。传感器静态特性的主要技术指标有：线性度、灵敏度、迟滞和重复性等。 (1).线性度 传感器的线性度是指传感器实际输出—输入特性曲线与理论直线之间的最大偏差与输出满度值之比，即 二、传感器的基本特性 (2).灵敏度 传感器的灵敏度是指传感器在稳定标准条件下，输出量的变化量与输入量的变化量之比，即 (3).迟滞 传感器在正（输入量增大）反（输入量减小）行程中，输出——输入特性曲线不重合的程度称为迟滞，迟滞误差一般以满量程输出的百分数表示 二、传感器的基本特性 (4).重复性 传感器在同一条件下，被测输入量按同一方向作全 量程连续多次重复测量时，所得输出——输入曲线的 不一致程度，称重复性。重复性误差用满量程输出的 百分数表示，即 近似计算 精确计算 二、传感器的基本特性 5.分辨力 传感器能检测到的最小输入增量称分辨力，在输入零点附近的分辨力称为阈值。 6.零漂 传感器在零输入状态下，输出值的变化称为零漂，零漂可用相对误差表示，也可用绝对误差表示。 2. 传感器的动态特性 传感器能测量动态信号的能力用动态特性表示。动态特性是指传感器测量动态信号时，输出对输入的响应特性。传感器动态特性的性能指标可以通过时域、频域以及试验分析的方法确定，其动态特性参数如：最大超调量、上升时间、调整时间、频率响应范围、临界频率等。 二、传感器的基本特性 1. 新型传感器的开发 鉴于传感器的工作机理是基于各种效应和定律，由此启发人们进一步发现新现象、采用新原理、开发新材料、采用新工艺，并以此研制出具有新原理的新型物性型传感器，这是发展高性能、多功能、低成本和小型化传感器的重要途径。总之，传感器正经历着从以结构型为主转向以物性型为主的过程。 三、传感器的发展方向 2. 传感器的集成化和多功能化 随着微电子学、微细加工技术和集成化工艺等方面的发展，出现了多种集成化传感器。这类传感器，或是同一功能的多个敏感元件排列成线性、面型的阵列型传感器；或是多种不同功能的敏感元件集成一体，成为可同时进行多种参数测量的传感器；或是传感器与放大、运算、温度补偿等电路集成一体具有多种功能——实现了横向和纵向的多功能。 三、传感器的发展方向 3. 传感器的智能化 “电五官”与“电脑”的相结合，就是传感器的智能化。智能化传感器不仅具有信号检测、转换功能，同时还具有记忆、存储、解析、统计处理及自诊断、自校准、自适应等功能。如进一步将传感器与计算机的这些功能集成于同一芯片上，就成为智能传感器。 三、传感器的发展方向 5.2 线位移检测传感器 一、光栅位移传感器 二、感应同步器 三、磁栅位移传感器 一、光栅位移传感器 1、光栅的构造： 2、工作原理 一、光栅位移传感器 把两块栅距W相等的光栅平行安装，且让它们的刻痕之间有较小的夹角θ时，这时光栅上会出现若干条明暗相间的条纹，这种条纹称莫尔条纹，它们沿着与光栅条纹几乎垂直的方向排列，如图所示。 莫尔条纹具有如下特点： 1.莫尔条纹的位移与光栅的移动成比例。光栅每移动过一个栅距W，莫尔条纹就移动过一个条纹间距B 2.莫尔条纹具有位移放大作用。莫尔条纹的间距B与两光栅条纹夹角之间关系为 3.莫尔条纹具有平均光栅误差的作用。 一、光栅位移传感器 通过光电元件，可将莫尔条纹移动时光强的变化转换为近似正弦变化的电信号，如图所示。 一、光栅位移传感器 其电压为： 将此电压信号放大、整形变换为方波，经微分转换为脉冲信号，再经辨向电路和可逆计数器计数，则可用数字形式显示出位移量，位移量等于脉冲与栅距