XPS原理及使用分析（精品课件）.pptVIP

2021/8/23 2021/8/23 精品 PPT 模板 2021/8/23 精品 PPT 模板 2021/8/23 精品 PPT 模板 2.电子能量分析器 3.超高真空系统 4.控制电路 5.样品台 精品 PPT 模板 精品 PPT 模板 精品 PPT 模板 精品 PPT 模板 精品 PPT 模板 精品 PPT 模板 精品 PPT 模板 精品 PPT 模板 精品 PPT 模板 精品 PPT 模板 精品 PPT 模板 精品 PPT 模板 精品 PPT 模板 2021/8/23 精品 PPT 模板 X射线光电子能谱分析 XPS 2021/8/23 精品 PPT 模板 XPS—X-rays Photoelectron Spectroscopy ESCA—Electron Spectroscopy for Chemical Analysis 2021/8/23 精品 PPT 模板 1.X射线光电子能谱仪发展历史 爱因斯坦：光电效应 50年代，K.Siegbahn研制成功XPS谱仪 60年代，发展成为商用仪器 主要：PHI公司，VG公司，Karatos 公司 发展方向：单色化，小面积，成像XPS 一、概述 2021/8/23 精品 PPT 模板 2.仪器功能与特点： （1）定性分析--根据测得的光电子动能可以确定表面存在哪些元素。灵敏度约0.