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— PAGE \* Arabic 1 — (全文)纳米测量仪器和纳米加工技术 2003年1月第5卷第1期  中国工程科学Engineering Science  Jan.2003Vol 15No 11  院士论坛  [收稿日期]　2002-07-18;修回日期　2002-07-29  [简介]　姚骏恩(1932-),男,上海市人,中国工程院院士,中国科学院北京科学仪器研制中心研究员  纳米测量仪器和纳米加工技术  姚骏恩  (中国科学院北京科学仪器研制中心,北京　100080)  [  白质和核酸发展的机构与功能。纳米生物学是在纳米尺度上研究生物的反应机理,包括修复、复制和调控等方面的生物过程,以对分子的操纵和改性为目的;发展分子工程,主要包括纳米尺度的机器人和信息处理系统。由于扫描隧道显微镜(STM)[2,3]和原子力显微镜(AFM)[4]等扫描探针显微镜(SPM),可给出生物分子在大气或液体条件下的自然状态、或接近自然状态的纳米结构图像,并具有高度的直观性以及三维表面信息,已成为研究生物大分子高级结构及其对功能影响的理想工具。现在STM/AFM的视野可从几纳米到100μm量级,使得观察巨大分子甚至细胞的全貌成为现实。研究对象也从最初的DNA迅速扩大到包括细胞结构、染色体、蛋白质、膜以及DNA和蛋白质的复合物等生物学的大部分领域。更为重要的是,SPM不仅可作静态观察,还可实现动态成像,在分子水平上了解系统的生物活性,并由单纯观察发展为纳米尺度上直接对生物大分子的操纵和改性(例如对DNA分子进行改性),按分子设计制备具有特定功能的生物零件、生物机器,将生物系统和微机械系统有机地结合起来。这种技术的诱人之处是有可能把具有多种功能的微型机器注入人体血管内,进行全身健康检查和治疗,如疏通心、脑血管中的血栓,将基因或药物输送到癌细胞和器官,达到直接治疗的目的。  4　纳米测量学和纳米加工  综上所述,无论是纳米电子学还是纳米生物学等纳米科技,都涉及对纳米尺度物质的形态、成分、结构及其物理/化学性能(功能)的测量、表征,形成了纳米测量学。这是人的眼睛和双手在纳米世界的延伸。由此可见,纳米测量学在纳米科技中起着信息采集和分析的不可缺少的重要作用。纳米加工是纳米尺度制造业的核心:一是,对宏观材料从大到小进行纳米级的超精加工;另一是,按人们的设计,从小到大直接对原子、分子进行操作、沉积和迁移来制造各种功能材料、元器件。发展纳米测量学和纳米加工主要有两个途径:一是发展传统技术;二是创造新技术,建立新原理和新方法[5]。  411　发展传统技术  发展传统技术,主要是电子束、离子束和光子束技术。现在高性能透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)的分辨本领分别达到了011～012nm和016～310nm,从单纯的显微放大发展为:集物质动静态观察、化学成分和结构的分析以及研究与其宏观性能(功能)之间的关系于一体的常规精密仪器[6,7],已广泛用于表征、分析纳米材料和生物大分子的微结构。纳米颗粒、纳米线、纳米管、纳米棒等新型纳米材料的表征和最终确定   ,主要依靠电子显微技术。目前,电子显微镜市场也发生了改变,原来的主要用户是大学和研究单位,现在很多企业也成为买主。特别是扫描电子显微镜,及在此基础上发展起来的专用大规模集成电路测试设备,甚至透射电子显微镜都已应用于半导体集成电路生产线进行失效分析,提高了成品率[8]。  加工制造微米/纳米器件时,常规的车、铣、、磨、钻、钳等传统加工技术已无能为力。最近开发出的聚焦离子束-电子束双束纳米加工中心(dual beam focused ion beam system),用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工和扫描电子显微镜实时观察,开辟了从大块材料制造纳米器件、进行纳米加工的新途径。这种纳米加工中心已用于半导体集成电路生产线,直接修补、加工集成电路,大大提高了生产率[8]。  现在,自电子显微镜发明以来一直影响其分辨本领的电磁透镜球差已可减小到接近于零,采用高亮度场发射电子枪及电子能量过滤器,发展X射线能量色散谱和电子能量损失谱、电子衍射、低温和环境试样室、计算机控制和图像处理等技术,电子显微术正面临新的突破[6]。  412　创造新的测量技术,建立新原理和新方法科学技术上的重大成就往往是以测量仪器和技术方法的突破为先导的。诺贝尔奖设立的百年来,已约有40人次由于在仪器研制和技术创新方面的贡献获得了诺贝尔奖。例如,英国克卢格(A1 K lug)博士将付里叶变换方法与电子显微学结合,发展了晶体电子显微学———付里叶电子显微学,开辟了研究生