一种电容式加速度传感器.docVIP

一种电容式 MEMS 线加快度传感器的设计 一． MEMS 以及传感器介绍 MEMS 即微机电系统 ,是在微电子技术基础上发展起来的多学科交错的前沿 研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重要科技领域之一。它涉 及电子、机械、资料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，拥有 广阔的应用远景。所谓传感器就是一种将能量从一种形式转变为另一种形式， 并针对特定可丈量的输入为用户供给一种可用的能量输出的器件。以半导体技 术和微机电加工工艺设计、制造的 MEMS 传感器，集成度高，并可与信号办理 电路集成在一同，大大降低了生产成本，已在汽车、花费电子和通讯电子领域 获得极大发展。 二． MEMS 加快度传感器特色和应用 跟着微机械系统和微加工技术的发展，微型传感器也随之快速发展。惯性 系统已宽泛用于航天，航空，民用领域为当前各样航行体上应用的一种主要导 航设施，能够供给比较精准的姿态与多种导航信息。我们利用惯性敏感元件和 初始地点就能够确立载体的动向地点、姿态和速度。而加快度计作为惯性系统 的一个中心敏感器件，固然较陀螺仪发明较晚，可是发展速度很快。所以，此 次关于 MEMS 加快度传感器的研究关于认识专业发展前沿和激发自己的学习兴 趣都有很大的帮助和意义。依据原理不一样， MEMS 加快度传感器按敏感原理可 以分为压阻式、压电式、电容式、谐振式、热电藕式和隧穿式等几大类。