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半导体制造业挥发有机气体防治研究 随着我国社会科技发展水平不断提升，各行各业纷纷进行高科技产业升级。 随着5G技术、物联网、人工智能、大数据、云计算等新基建的顺利推进，半导 体行业高速发展。半导体产业链包括代工、封测、设计、设备以及材料等环节将 持续繁荣，各种半导体制造企业也像雨后春笋般快速成长。 1 前言 半导体制造的过程除了会产生众多无机有害气体外，还容易产生大量的挥发 有机污染物VOCs。这些有机污染物主要来源于清洗、刻蚀、沉积、镀膜、光刻、 显影等频繁使用有机溶剂的工序。半导体生产制造过程中产生的VOCs污染物