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离轴三反光学系统主三反射镜支撑结构设计 0引言离轴三反消像散（three-mirror anastigmatism，TMA）光学系统具有大视场、分辨率高、无中心遮拦、无色差等优点，在遥感相机、激光通讯和环境监测等方面得到了广泛应用离轴TMA光学系统有主镜、次镜和三镜等多个光学元件，一般来说，光学系统中镜面的数量越多，装调难度越大，至少需要调整3个反射镜的位置量与角度量，工作量大，加工装调成本高。在生物成像TMA光学系统中，由于主镜和三镜的轴向位置非常接近，因此设计时将主镜和三镜进行一体化设计（以下简称主三镜或反射镜），形状为矩形轮廓，使一面镜子既具有主镜的功能，又具有三镜的功能，光学系统由原来的3镜变成2镜系统，减少了6个自由度的调整量，降低了装调难度和生产制造成本目前，国内外学者对大口径矩形反射镜的支撑结构设计进行了大量研究。朱俊青等提出集成参数优化设计方法，确定了长条形反射镜三点支撑结构本文针对CTC细胞亚微米级成像、镜面面形精度高且持久稳定等技术指标要求，设计了大口径矩形主三反射镜支撑结构组件。首先设计了背部3点和侧面6点支撑的镜室结构，设计了当环境温度变化时具有良好调节能力的柔性铰链。然后对主三镜支撑组件进行循环迭代优化设计和有限元仿真分析，最后对支撑结构作用下的主三一体镜进行面形检测和系统波长差检测，检测结果基本满足了生物成像检测仪技术指标要求。1反射镜支撑结构设计1.1生物成像离轴三反光学系统生物成像离轴三反光学系统主要包括主三反射镜（非球面）、次镜（非球面）和折转镜及CCD等部分组成，光学系统如图1所示，为了微弱荧光细胞成清晰像，光学系统采用物像等距共轭，光谱范围为350nm~1100nm，光学系统焦距大于630mm，采用反射式光学系统，成像视场为150mm×20mm，像元尺寸为2.8μm×2.8μm。对于2.8μm探测器，Nyquist频率为178lp/mm，在Nyquist频率（178lp/mm）处全波段传函平均为0.343，设计结果如图2所示，完全满足应用需求。系统指标分配为：主三镜支撑组件总重量小于50kg，重力工况下和4℃均匀温升载荷工况下，反射镜面形误差（RMS）≤λ/40(有效口径内)，PV值≤λ/10(有效口径内)，主三镜和次镜系统波像差（RMS）≤λ/10，工作温度为20℃~24℃。主三镜尺寸为410mm×388mm，背部采用平背式，结构尺寸如图3所示，反射面为双曲面形式的非球面，其表达式为：式（1）中：1.2优化设计流程主三反射镜支撑结构设计是以镜面面形精度为主要设计目标的反复迭代优化设计过程，基本研制流程如图4所示。首先，根据光学设计技术要求，从材料物理特性及可加工性能、支撑结构的稳定性、温升适应性和经济性等方面选择反射镜及支撑组件材料。接着，采用机械动态设计的方法，利用三维设计软件建立实体几何模型；其次，根据所选材料赋予组成模型的各构件材料属性，分析设计要求精度、问题类型、考虑相应的边界条件建立有限元模型。然后，进行静态分析及热特性分析，根据静态特性及热特性的要求或预定的静态设计目标，进行综合评价。如果不满足设计要求则进行结构或材料的修改，再进行结构设计和有限元分析，直到系统结构满足设计指标要求为止。最后，确定符合静态特性及热特性的具体镜室结构和柔性支撑结构，并进行详细设计及加工制造装调。1.3主三镜组件材料选择反射镜材料选择需考虑以下几个方面：①力学特性。主三反射镜需要加工、检测及装调时的搬运过程，因此反射镜应具有良好的稳定性和较高的面形精度。反射镜变形的经验公式为式（2）中，②材料的可加工性及安全性。有毒的材料不仅对加工者身体健康有害，而且还将大大增加制造成本，因此反射镜材料应选择无毒并且加工性能优良的材料。③热特性。反射镜处于温差大的环境时，内部将产生热应力，热应力扩散到镜面表面时，变形将使面形误差增大。为了提高主三镜支撑结构的可靠性和对温度变化的适应性，选择支撑结构材料时需满足以下条件①刚度和强度高，从而保证光机结构具有良好的尺寸稳定性。②优良的热稳定性，在温度变化时，使支撑系统对反射镜面形的影响最小，一般选与反射镜膨胀系数接近的材料作为反射镜支撑材料。在现有条件下，依据以上反射镜材料和支撑结构材料的选择原则，反射镜组件所选取的材料属性如表1。微晶玻璃加工工艺成熟，面形抛光时间相对较短，材料综合性能较好，在国内外反射镜中有着广泛的应用，因此主三镜选用微晶玻璃。由于铁镍合金的线膨胀系数可调节，能够制成与反射镜相匹配的线胀系数，因此柔性支撑和刚性支撑选用4J32材料。超硬铝结构刚度高、加工性好并且比较经济，因此主三镜镜室选用7A09超硬铝材料。1.4支撑点位置优化利用有限元软件Ansys参数化