镀膜机教学课程.pptx

镀膜机教学课程第1页/共30页会计学第2页/共30页 镀膜机基础知识日本 RAS-1100机台第3页/共30页龍翩 LP系列第4页/共30页 第一課：鍍膜機的構造鍍膜機時集機械、電子、光學為一體的高科技機器。成本相當高，在生産操作過程中一定要小心謹慎，每位人員都要知道鍍膜機的結搆及各部件之間的動作順序與條件。 第5页/共30页 鍍膜機可分為五大系統 一、真空系統 二、控制系統 三、膜厚系統（監控系統） 四、蒸鍍系統 五、輔助系統第6页/共30页一、真空系統工作原理： 真空繫統主要是利用壓強原理進行排氣工作。 是通過（RP MP Dp） 的工作來進行壓強原理來排氣工作。第7页/共30页 真空系統簡單排氣圖第8页/共30页有以下組成：(1) 冷卻水 桶身加熱器冷卻水電磁閥(2) GUN 電子鎗冷卻水電磁閥(3) 氧氣 氣體注入電磁閥(4) ATM ATM/VAC真空狀態之顯示(5) 加熱器 顯示桶身加熱器是否動作(6) 監控片 顯示監控片目前位置(7) 迴轉 顯示桶身迴轉機構是否動作(8) 轉速 顯示桶身迴轉機構之轉速(9) SH1遮板開關1(10) SH2遮板開關2(11) Gun1無使用(12) Gun2 Gun2坩鍋位置顯示(13) RV粗抽閥(14) RSV微粗抽閥(15) HV高真空閥(16) LV1洩氣閥1(17) LV2洩氣閥2(18) DP油擴散邦浦(19) FV前置閥(20) BP機械輔助邦浦(21) RP油迴轉邦浦(22) RLV管路洩氣閥(23) 幫浦啟動 主機啟動(24) 關機 關機(25) 自動 真空流程自動(26) 手動 真空流程手動(27) 警報確認(28) 主畫面 按下此鍵將回至Screen1中英文選擇畫面第9页/共30页有上圖可知：真空系統由RP、DP、MV、FV、LV、RV、RLV及連接管組成真空是由各級泵浦的運轉工作完成的、抽氣可分為兩個過程。既：A：初抽：真空室－RV－MP－RP－大氣中B：主抽：真空室－MV－DP－FV－MP－RP－大氣中另外，初抽可分為兩個階段，既：A：真空室－RV－PBV－RP－大氣中B：真空室－RV－MP－RP－大氣中初抽主要是機械泵的工作，它利用壓強原理來達到抽氣的功能。第10页/共30页真空系統有以下組成： RP（機械泵浦） MP（輔助泵浦） DP（擴散泵浦）第11页/共30页RP（機械泵浦）工作原理：是靠改變氣缸的體積完成吸氣與排氣工作，氣體被分成兩部分。轉子並非繞着圓心鏇轉，這使吸氣鍴的體積不斷變化。吸氣壓縮與排氣過程是同時進行的，隨着轉子的不斷鏇轉，泵體的兩部分體積的變化。當排氣鍴壓力大于排氣口彈簧的壓力時，空氣分子不斷經RP排到大氣中 。第12页/共30页第13页/共30页注意：，RP內壁一定要保持清潔、光滑當機械泵浦裏麵有很多雜質或潤滑油的粘稠度的，否則，轉子很容易磨損，吸氣鍴子與排氣鍴不能完全隔離，造成RP排氣性能降低，RP性能差就是轉子不能與RP內壁完全吻閤，所以，泵浦油用到一定時間后要全部更換。RP油起着潤滑 、冷卻與密封的作用，油位不能低于吸口的高度。在工作中要經常去確認RP油的油位，否則會造成機械泵浦燒壞的后果。第14页/共30页MP（輔助泵浦）工作原理： 是增大兩耑的壓力差使排氣速度加快。它用于初抽與精抽，最大壓力可達到10－4Torr。泵體內部使兩各8字型的轉子，兩個轉子緊密配閤在 一起，轉子與轉子、轉子與泵體之間隻有0.2～0.3mm的極小空隙 。第15页/共30页MP:分解图第16页/共30页注意：因轉子與轉子、轉子與泵體之間隻有0.2～0.3mm的極小空隙，所以平時要保持泵體內部的清潔度，不能有其它雜質（物），泵體內部沒有油的，油的主要作用是用來潤滑泵浦體的齒輪及軸承，如果有油機臺可能返油或者機械輔助泵浦體的油封磨損，在加註油之前必須讓機臺停下來，以及泵浦處于大氣狀態下。因為機臺在運轉時泵浦內部處于真空狀態、如果打開頂部油封會造成大量的油洩漏以及嚴重損壞泵浦。當泵浦停止且處于大氣壓狀態時，必須停止冷卻水否則當溫度很高時空氣的水分會凝固在泵浦裏，影響泵浦的極限壓力。第17页/共30页旋片式真空泵工作原理 ：旋片式真空泵（简称旋片泵）