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气体质量流量控制器 操作手册 10/26/2005 Rev.4 DOC-ALIMAN16C 保护你的权益和延长你的产品使用寿命 设备应用的注意事项 请不要随意拆卸，替换部件，或者执行未经许可的修正。这样会使产品失去保修。本设备无 用户可维护部件，并且只能由厂家授权方维护或维修。 不要在易爆，潮湿或腐蚀的环境下使用此产品。 不要用于任何腐蚀性的气体，例如：氨，丙烯，HCI，SO ，H S ，NO ，NO，硅烷，氯，等 2 2 2 等 不要在气流水蒸汽凝结成水，并堵塞产品内部的条件下使用此产品，这样会造成压力传感器 的破坏 不要使用一个量程范围超出实际测量值很多的流量计，例如，不要把1000 升的量程用在100 升的应用上，这样会导致流量计达不到理想的精度。 判断你的流量计量程，确定工况流量是流量计满量程的70%左右。 设备安装的注意事项 不要快速的切断/开启阀，那样会致使流量计处在瞬时的高压下－（尤其重要的是低流量 （50SCCM 和更低）和小流量的流量线路），因为那样能造成差压传感器的损坏。 在固定或移动配件时，不要让控制器的阀门处于受力状态——阀门是一个精密设备，任何阀 径的扭曲都会影响产品的控制性能。 不要让流量控制器的外壳置于任何液体中，因为本产品不具有防水的电气外壳。 保证电源具有正确的正负极，电压和电流 确保在使用一个DC61 或其他钝切电缆时，在通电之前请仔细检查你的接线线路。 如果可能的话，请确保在设备的前端使用一个20-50 微米过滤系统 1 设备操作的建议 确保质量和体积流量计的标定介质与测量介质一致。 确保考虑到了当改变测量气体或测混合气体时，会减小质量和体积流量计的精度，和出现无 法预测的结果。请查看手册中关于校正附备气体粘度的指示。 确保设备不要使用在高压，或高背压的环境中。通常使用在10~15 PSIG （0.66~1bar ）的压力 下。不可超过此压力，否则测量数据不准确，并且还会给仪表造成损害。 确保设备经常复位，在复位的时候，应该确保此时绝对没有流量通过。（控制器将在设定点 为零的时候自动复位） 确保产品使用在150PSIG 压力以下。对于压力计和压力控制器，产品的压力应该在其满量程 之内。产品特别指定，在低压使用时可能会减小耐压极限。 确保产品在最佳性能下运行 确保可以调节你的控制器 P 和D 阀参数设置，以便适应您的系统要求，注意调节前的最初 设置 永远不要在没有压力的情况下，来设置控制器的非零的设定点。这样的话，控制器会给阀门 提供一个满电压，来达到这个设定点。这样会使阀门变得非常热而永久损坏 确保根据你的重新校准表来使用产品 如果您有任何疑问请联系Alicat 中国区代表处： Alicat Scientific Inc. 英国豪迈国际有限公司上海代表处 电话：86-21转118 传真：86-21 邮箱：info-cn@A 地址：上海市仙霞路137 号盛高国际大厦1801 室 邮编：200051 2 目录 页数 安装 5 管道设备