MEMS技术 教学大纲.docxVIP

PAGE 1 MEMS技术 一、课程说明 课程编号：080912Z10 课程名称：MEMS技术（Micro-Electro-Mechanical System and Technique） 课程类别：专业教育课程 学时/学分：2 总学时：32 先修课程要求：《普通物理》、《微电子制造工艺》 适应专业：微电子科学与工程、电子科学与技术 教材与参考书： [1] 王喆垚，微系统设计与制造（第2版），清华大学出版社 2015 [2] Marc J. Madou. Fundamentals of microfabrication The science of miniaturization. CRC PRESS [3] [美]格雷戈里 T.A.科瓦奇 著，张文栋等译，微传感器与微执行器全，科学出版社 [4] [美]Stephen A. Campell著， 曾莹 严利人 王纪民 张伟等译. 微电子制造科学原理与工程技术，电子工业出版社 [5] [德]W.Menz, J.Mor, O.Paul著，王春海 于杰等译，微系统技术，化学工业出版社 二、课程设置的目的意义 本课程是微电子制造技术与装备的专业选修课。其内容由微系统技术简介、系统技术中的材料、各种微细加工方法及微系统和微细加工的检测技术等部分组成。本课程的作用和任务是：通过本课程的学习，使学生了解微系统技术的概念、现状与发展前