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mems器件气密封装工艺规范(材料参数).pdf

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    MEMS 器件气密封装工艺规范 （元件级） 华中科技大学微系统中心 1. 引言 微机电系统（ Micro ElectroMechanical System －MEMS ），又称微系统，以下简称 MEMS 。 MEMS 是融合了硅微加工、 LIGA 和精密机械加工等多种加工技术，并应用现代信息技术构成 的微型系统。它是在微电子技术基础上发展起来的，但又区别于微电子技术，主要包括感知外 界信息

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