洁净室达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁方面、方法、材料与清洁剂的相容性、材洁净度测量.pdfVIP

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2021-10-03 发布于河南
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洁净室达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁方面、方法、材料与清洁剂的相容性、材洁净度测量.pdf

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附件A （信息提供）清洁方面清洁内容物理性质采用的检测技术化学性质提取技术清洁验证物体描述化学本质表面洁净度的评估材料组合/结构材料种类表面破坏清洁技术的粗糙度材料相容性清洁方面表面氧化洁净表面残留物类型物理清洁清洁技术洁净度标准水平/浓度化学清洁类型污染水平/浓度其他要求图A.1 – 清洁方面概述（非详尽） 17 物理性质：化学清洁：清洁内容：物理性质：化学性质：热清洁蚀刻/浸出洁净室安装（墙、尺寸 Hydrophyl 地砖、天花板）爆破清洁化学反应相关表面 Hydrophob 固定或非固定设备热真空泵 UV 臭氧 Lipophyl 移动物体静电清洁溶剂清洁 Lipophob 吸附清洁等离子表面氧化湿法清洁技术超氧化腐蚀干法清洁技术反应性/活性如材料类型：种类：水平/浓度：有机材料粒子 SCP 无机材料