扫描电子显微镜 SEM 和能谱分析技术 EDS.pptVIP

扫描电子显微镜和能谱分析技术 (Scanning Electron Microscopy /Energy Dispersive Spectrometer) （SEM/EDS） 安泰科技研发中心 郭金花 ;主 要 内 容;1 扫描电镜的作用：;2 扫描电镜的工作原理; 样品表面激发的电子信号;二次电子、背散射电子和特征X射线;背反射电子：产生范围在100nm-1μm深度 能量较高，小于和等于入射电子能量E0;3扫描电镜的主要构造;收集二次电子时，为了提高收集有效立体角，常在收集器前端栅网上加上+250V偏压，使离开样品的二次电子走弯曲轨道，到达收集器。这样就提高了收集效率。 收集背散射电子时，背散射电子仍沿出射直线方向运动，收集器只能收集直接沿直线到达栅网上的那些电子。;4 扫描电镜对样品的作用－－ 加速电压、电子束与样品之间的关系; 4 扫描电镜对样品的作用－－ 二次电子与背散射电子之间的区别; 二次电子图像 VS.;4 扫描电镜对样品的作用－－ 物镜光栏、工作距离与样品之间的关系;工作距离的影响;5 能谱仪（EDS）的工作原理;6