FeCrVTa0.4W0.4高熵合金氮化物薄膜的微观结构与性能.docx

自21世纪以来，高熵合金逐步成为材料研究领域的热点，最初，高熵合金被定义为由五种及五种以上的元素构成，每种元素原子百分比均在5%到35%之间，通常形成具有体心立方[1](BCC)、面心立方[2-3](FCC)或者是密排六方[4](HCP)结构的简单固溶体。由于高熵合金具有独特的成分和微观结构，该合金获得了有别于传统合金的优异性能，如低温韧性[5-7]、耐热性[8]、耐磨性[9]、抗氧化[10-12]、软磁性[13-16]、抗辐照[17-19]、良好耐腐蚀性[20]等。学者们在研究高熵合金块体的同时，将多元高熵思想应用于薄膜材料，开发了一系列高熵合金氮化物薄膜、碳化物薄膜等[21]，其中，高熵合