偏振光反射法测量薄膜厚度和折射率的研究.docVIP

偏振光反射法测量薄膜厚度和折射率的研究 薄膜技术的发展及其应用 薄膜是一种较特殊的物质形态，其在厚度这一特定方向上尺寸较小，仅 是微观可测的物理量，并且在厚度方向上由于表面、界面的存在，使物质的连续性 发生中断，由此使得薄膜材料产生了与块状材料具有不同的性能。也可以解释为， 由于成膜的过程中晶体取向、晶粒大小、杂质浓度、成份的均匀性、基底材 料、温度以及清洁度等因素的影响，使得薄膜的物理性能与块状材料的物理性能 在诸多方面不同。这引起了诸多科研工作者们较为浓厚的研究兴趣并使之得到更为 广泛的应用。二十世纪70年代以来，薄膜技术得到空前的发展，无论在学术研究 上还是在工业应用中都取得了较丰硕的成