光学薄膜的市场调研报告.docVIP

1 - 光学薄膜的市场调研报告 1光学薄膜的制备技术 1.1物理气相学沉积（PVD） 1）热蒸发 光学薄膜器件主要采用真空环境下的热蒸发方法制造，此方法简单、经济、操作方便。尽管光学薄膜制备技术得到长足发展，但是真空热蒸发依然是最主要的沉积手段，当然热蒸发技术本身也随着科学技术的发展与时俱进。 2）溅射 溅射指用高速正离子轰击膜料（靶）表面，通过动量传递，使其分子或原子获得足够的动能面从靶表而逸出（溅射），在被镀件表面凝聚成膜。其膜层附着力强，纯度高，可同时溅射多种不同成分的合金膜或化合物。 3）离子镀 离子镀兼有热蒸发的高成