净化车间洁净度级别要求.pdf

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纯臻净化 净化车间洁净度级别要求 无尘车间可以分为以下几个级别: 1级 这个级别的洁净室主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的精 确要求为亚微米。 10级 这个级别的洁净室主要用于带宽小于2微米的半导体工业。 100 级 很多人认为,这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间,人们 常常错误地将100级无尘车间称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境 要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一无尘车间大量应用 于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细 菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。 1000级 这个级别的洁净室主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配 飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。 10000 级 万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食 品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。 100000 级 十万级洁净室用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较 小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、 药工业也常常使用这一级无尘车间。 然而在做无尘车间设计要求应满足产品生产工艺和空气洁净度等级的要求。 进行空间设计时,应仔细考虑生产洁净区与相关的辅助生产区之间的关系,必 须使空间布置做到有效、灵活,对于一般的洁净室在吊顶上部或楼面下布置送风、 回风和排风管道以及各种水、气、电管线等,需要设置必要的空间于垂直单向流 为主的无尘车间,首先应在选择好气流流型、净化空调系统的形式和空调机、空 气过滤器的前提下,合理、有效地布置洁净室的空间:在洁净室设计特别是单向 流洁净室设计中,气流流型、净化空调设备的选择和布置方案的选择是确定洁净 室空间布置的主要因素;在一般建筑设计中,空调机是建筑物的附属设备.它仅 仅是补充完善建筑物的功能设备,但在洁净厂房中净化空调设备是实现空气洁净 度的主要功能设备。 纯臻净化 合理安排、布置生产洁净区,人员净化、物料净化、工艺设备及相应物料供应 管线,净化空调系统和各种公用动力设施及其管线等是洁净室空间设计的主要 务。 进行空间设计时,应仔细考虑生产洁净区与相关的辅助生产区之间的关系,必 须使空间布置做到有效、灵活,对于一般的洁净室在吊顶上部或楼面下布置送风、 回风和排风管道以及各种水、气、电管线等,需要设置必要的空间于垂直单向流 为主的洁净室,首先应在选择好气流流型、净化空调系统的形式和空调机、空气 过滤器的前提下,合理、有效地布置洁净室的空间:在洁净室设计特别是单向流 洁净室设计中,气流流型、净化空调设备的选择和布置方案的选择是确定洁净室 空间布置的主要因素;在一般建筑设计中,空调机是建筑物的附属设备.它仅仅 是补充完善建筑物的功能设备,但在洁净厂房中净化空调设备是实现空气洁净度 的主要功能设备。 当然对工业洁净室来说,生产工艺设备、工具和产品生产所需纯水、纯气、高 纯化学品以及稳定的电力供应等也都是洁净厂房产品生产所必须的重要条件。 无尘车间建成后的技术经济效益,在进行洁净室设计的时候应该尽量考虑到其灵 活性,以便满足方便地进行技术改造,适应产品换代或设备更新的要求。洁净室 的设计与一般工业厂房的装修设计有类似之处,但也有其自身的特点,一般在其 装修设计的时候需要考虑一下几点: 一、了解业主对于洁净室拟生产的产品种类、使用情况,进而确定所设计洁净室 的技术要求,洁净室设计首先要了解所设计的洁净室的用途、使用情况、生产工 艺等。比如对于集成电路生产用的洁净室,其控制对象主要是空气中的尘埃,同 时,针对不同集成电路特征尺寸及其集成度,空气洁净度等级、高纯度物质、防 微振的要求也不同,应参照工厂的产品品种确定。 二、充分了解业主拟采用的生产工艺、工艺设备情况和对工艺布局的设想,从而 协同业主确定洁净厂房各功能区的区划,确定各类生产工序的空间洁净度等级和 各种控制参数。不管是一般工业厂房装修设计,还是洁净室设计,都应该做到顺 应工艺流程,尽力实现物流人流的顺畅便捷,净化空调系统配置合理、气流流型 选择得当,洁净厂房平面、空间布置合理,实现可靠经济运行的洁净厂房设施。 三、为确保无尘车间内的空气洁净度,洁净室设计中涉及到的各个专业设计均应 采用妥善的、可靠的技术措施,从而减少或防止产生、滋生微生物,减少或阻止 将微粒/微生物或可能会造成交叉污染的物料带入洁净室内

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