表面分析方法.pptVIP

7.3. 二次离子质谱法 7.3.1. 二次离子质谱法原理 当初级离子束（Ar+、O2+、N2+、O-、F-、N-、或Cs+等）轰击固体试样表面时，它可以从表面溅射出各种类型的二次离子（或称次级离子），利用离子在电场、磁场或自由空间中的运动规律，通过质量分析器，可以使不同质荷比（m/z）的离子分开，经分别记数后可得到二次离子强度-质荷比关系曲线，这种分析方法称为二次离子质谱法（secondary ion mass spectrometry, 简称SIMS）。 二次离子质谱有“静态”和“动态”两种。 第三十页，共37页。 7.3.2. 二次离子质谱仪 第三十一页，共37页。 7.4. 扫描隧道显微镜和原子力显微镜 7.4.1.扫描隧道显微镜的基本原理 基于量子力学的隧道效应。 第三十二页，共37页。 7.4.2. 仪器装置 由xyz位移器、针尖和计算机接口等三部分组成。 仪器结构的两个核心问题分别是获得单原子直径的尖端和维持隧道结间隙的稳定性。 通过切削Pt/Ir丝或电解腐蚀W丝，并采用进一步精细处理(例如用针尖与试样之间加较大直流或交流电流以及预扫描10 ~ 60 min)可以制备这种单原子针尖；后一问题的解决方法是采用严密的振动隔离系统、使用刚性和热胀系数相近的构件连