PS分峰的分析实例要点.pdfVIP

材料 Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例 7 2 例：将剂量为 1 10 ions/cm ，能量为 45KeV的碳离子注入单晶硅中， 然后在 1100C 1s 退火 2h 进行热处理。 对单晶硅试样进行 XPS测试，试对其中的 C 高分辨扫瞄谱 进行解析，以确定各种可能存在的官能团。 分析过程： 1、在 Origin 中处理数据 图 1 将实验数据用记事本打开，其中 C1s 表示的是 C1s 电子，299.4885 表示起始 结合能， -0.2500 表示结合能递减步长， 81 表示数据个数。 从 15842 开始表示是 光电子强度。从 15842 以下数据选中 Copy到 Excel 软件 B 列中，为光电子强度 数据列。同时将 299.4885Copy 到 Excel 软件 A 列中，并按照步长及个数生成结 合能数据，见图 2 图 2 将生成的数据导入 Origin 软件中，见图 3 。 图 3 此时以结合能作为横坐标，光电子强度作为纵坐标，绘出 C 谱图，检查谱 1s 图是否有尖峰，如果有，那是脉冲，应把它们去掉，方法为点 Origin 软件中的 Data-Move Data Points ，然后按键盘上的 或 箭头去除脉冲。本例中的实验数 据没有脉冲，无需进行此项工作。将 column A 和 B 中的值复制到一空的记事本 文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘，见图 4。 图 4 2、打开 XPSPeak，引入数据 ：点 Data--Import (ASCII) ，引入所存数据，则 出现相应的 XPS谱图，见图 5、图 6 3、选择本底：点 Background ，因软件问题， High BE 和 Low BE的位置最 好不改，否则无法再回到 Origin ，此时本底将连接这两点， Type 可据实际 情况选择，一般选择 Shirley 类型，见图 7。 图 7 4 、加峰： 点 Add peak，出现小框，在 Peak Type 处选择 s、p、d、f 等峰类型（一般 选 s ），在 Position 处选择希望的峰位，需固定时则点 fix 前小方框，同法还 可选半峰宽（ FWHM）、峰面积等。各项中的 constraints 可用来固定此峰与另一 峰的关系。点 Delete peak 可去掉此峰。然后再点 Add peak 选第二个峰，如此 重复。 在选择初始峰位时， 如果有前人做过相似的实验， 可以查到相应价键对应的 峰位最好。 但是如果这种实验方法比较新， 前人没有做过相似的，