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LED 芯片制造设备现状及其工艺介绍 2010-11-10 10:04:17 文章来源：《半导体照明》杂志 LED 是技术引导型产业，特别是技术与资本密集型的芯片制造业，需要高端的工艺 设备提供支撑。但与 半导体 投资热潮下的 瓶颈“ ”类似，设备研发与产业膨胀仍然存在着速度 匹配的问题， 尤其是在高端设备领域， 大部分设备仍然需要依赖进口。 进口设备的价格昂贵， 采购周期过长，使中国的 LED 芯片 制造行业急需本土设备的成长和崛起。 一、上游外延片生长设备国产化现状 LED 产业链通常定义为上游外延片生长、中游芯片制造和下游芯片封装 测试 及应用三 个环节。从上游到下游行业，进入门槛逐步降低，其中 LED 产业链上游外延生长技术含量 最高，资本投入密度最大，是国际竞争最激烈、经营风险最大的领域。在 LED 产业链中， 外延生长与芯片制造约占行业利润的