机械工程测试技术（西交大版）教学课件 第四章新型传感原理及应用.pptxVIP

机械 程测试技术 工 第四章 新型传感原理及应用 目录 4.1激光传感器 4.2光纤传感器 4.3智能传感器 4.4MEMS传感器 4.1激光传感器 激光自1960年问世以来，虽然发展历史不长，但发展速度很快，激光技术已经成为近代最重要的科学技术之一，并已广泛应用于工业生产、国防军事、医学卫生和非电量测量等方面。利用激光技术进行测量的传感器，称为激光传感器。它由激光器、激光探测器和测量电路组成。 4.1.1激光传感器的工作原理 激光与普通光不同，需要用激光器产生。激光器的工作物质，在正常状态下，多数原子处于稳定的低能级E1，在适当频率的外界光线的作用下，处于低能级的原子吸收光子能量受激发而跃迁到高能级E2。光子能量E=E2-E1=hv，式中，h为普朗克常数；v为光子频率。反之，在频率为v的光的诱发下，处于能级 E2的原子会跃迁到低能级释放能量而发光，称为受激辐射。激光器首先使工作物质的原子反常地多数处于高能级（粒子数反转分布），就能使受激辐射过程占优势，从而使频率为v的诱发光得到增强，并可通过平行的反射镜形成雪崩式的放大作用而产生强大的受激辐射光，简称激光。 4.1.2激光的特性 激光与普通光相比，具有以下的特性： 1.方向性强 激光具有高平行度，其发散角较小，一般约为0.18°，比普通光和微波小2～3个数量级。激光光束在几千米之外的扩展范围不到几厘米，因此，立体角极小，一般可