半导体芯片、晶圆、LED芯片、外延、TFT-LDE制程冷却水(PCW)系统施工规范参考.pdfVIP

半导体芯片、晶圆、 LED 芯片、外延、 TFT-LDE 制程冷却水（ PCW ） 系统施工规范 目录 1.一般说明 2.产品 .材料说明 3.施工说明 笑嘻嘻半导体 有 限 公 司（二号厂房） 3 1. 一般说明 1.1. 说明 3 台 泵浦 扬程 103 m 75kw 流量 5000 LPM , sus 304 本体 ,主管φ225A sus 304 40s 保 温 。缓冲水槽 sus 304, 衔接 RO 或 DI 水。过滤器 sus304 ,5 μm(标准滤材 ) , pou 7 kg/c ㎡。 制程冷却水系统 ,供应机台 16 ℃供应 21 ℃回水 稳定冷却水系统 , 冷却机台温 度。 本规范适用于制程冷却水系统之设计、制造、运输、安装及测试等一般要求。 1.2. 工程范围 制程冷却水系统 :泵浦组 ,桶槽 , 板式热交换器 (配合冰水系统 ),管路 ,PLC 控制系 统 , 1.2.1. 本案工程范围包含运送安装、及测试调整以下之制程冷却水系统： 1.2.1.1 制程冷却水泵浦。 1.2.