光电子能谱分析.pptxVIP

第一节 概述(ɡài shù);“表面(biǎomiàn)”的概念;表面(biǎomiàn)分析方法的特点;探测粒子;表中仅列出了探测粒子为电子和光子的常用表面(biǎomiàn)分析方法，此外还有离子、中性粒子、电场、热、声波等各种探测手段。这些方法各有其特点，而没有万能的方法，针对具体情况，我们可以选择其中一种或综合多种方法来分析。 X射线光电子能谱 XPS 俄歇电子能谱 AES;第二节 光电子能谱的基本原理（XPS）;第七页，共69页。;X射线光电子能谱法（XPS），因最初以化学领域应用为主要目标，故又称为化学分析(huàxué fēnxī)用电子能谱法（ESCA）。 X-Ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) / Electron Spectroscopy for Chemical Analysis (ESCA);一、光与物质(wùzhì)的相互作用;光电子(diànzǐ)和俄歇电子(diànzǐ)的产生;2、受激原子(yuánzǐ)的驰豫—去激发;去激发(jīfā)1;3、光电子逸出深度(shēndù);对于(duìyú)气体分子，X射线能量h?用于三部分： 一部分用于克服电子的结合能Eb，使其激发为自由的光电子； 一部分转移至光电子使其具有一定的动能Ek； 一部分成为原子的反冲能Er。 则 h?＝ Eb＋ E